安捷伦离子泵控制器

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关键词：安捷伦离子泵控制器

摘要

安捷伦离子泵控制器是真空系统的核心控制单元，适配多种离子泵，具备参数调节、实时状态监控与智能保护功能。采用模块化设计，操作便捷，可稳定维持高真空、超高真空环境，为科研实验、半导体制造等对真空度要求严苛的场景提供可靠控制，是真空系统运行的品质之选。

产品介绍

安捷伦离子泵控制器

安捷伦离子泵控制器

离子泵控制器

安捷伦提供各种离子泵控制器，包括推出的单通道控制单元 IPCMini、4UHV 多通道控制单元和适用于钛升华泵的 TSP 控制单元。
新的 IPCMini 离子泵控制器具有 3.5 英寸触摸屏，其创新设计使您能够启动、控制和监控 0.2 到 500 L/s 抽速的离子泵。IPCMini 采用标准 1/4 机架。
4UHV 离子泵控制器使您能够独立地启动、控制和监控多达 4 台 20 到 1000 L/s 抽速的离子泵。低电噪音的设计可以让您在关键应用中自由选择舍弃或减少电气噪声过滤器的使用。
TSP 控制器具有紧凑型标准半机架，能够操作安捷伦 TSP Cartridge 钛丝和安捷伦 MiniTi-ball 钛球。

特性

安捷伦 563 B-A 真空计特性：采用 Bayard-Alpert 技术，测量范围覆盖 2×10^-10 至 1×10^-3 torr 超宽区间；加热灯丝电子源搭配玻璃外壳铂涂层，灵敏度高、X 射线限值低，数据；结构设计稳定可靠，适配科研、半导体等多场景真空系统，安装便捷且长期运行性能优异，是真空测量领域的高品质选择。

性能指标

安捷伦 563 B-A 真空计核心性能指标

测量范围：覆盖 2×10^-10 至 1×10^-3 torr（对应 2.6×10^-10 至 1.3×10^-3 mbar），适配超高真空至中真空测量场景。

灵敏度：标准值为 10 (torr)^-1 / (mbar)^-1，保障微量压力变化的捕捉。

X 射线限值：低至 2×10^-10 torr，有效减少背景干扰，提升极端真空环境下的测量准确性。

核心配置：采用加热灯丝电子源，搭配玻璃外壳铂涂层设计，兼顾稳定性与抗干扰能力。

适配性：可与专用真空计控制器配套使用，兼容科研、半导体制造等多场景真空系统。

部件号及说明

安捷伦离子泵控制器