HiPace 700 M涡轮分子真空泵
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摘要
德国普发 HiPace 700 M 磁悬浮涡轮分子泵，685 l/s 氮气抽速搭配 < 7.5x10⁻⁸ torr 极限真空。5 轴磁悬浮轴承实现无油低振（45 dBA）、免维护运行，支持任意方向安装。IP54 防护 + 半导体认证，适配镀膜、半导体及粒子加速等场景，RS485 智能监控，节能更可靠。
产品介绍
HiPace 700 M涡轮分子真空泵
技术规格ISO
抽速
HiPace 700 M 涡轮分子真空泵：制造的真空核心解决方案
德国普发 HiPace 700 M 磁悬浮涡轮分子泵，以性能成为半导体、镀膜等精密制造领域的核心真空设备。其 685 l/s 的氮气抽速与 < 7.5x10⁻⁸ torr 的极限真空度，搭配 Semi S2 与 UL/CSA ，满足严苛的洁净制程要求。
采用创新 5 轴磁悬浮轴承技术，实现完全无油运行，从根源污染风险。45 dBA 的超低噪音与稳定运行特性，确保对振动敏感的光刻、离子注入等工艺不受干扰。相较于传统轴承设计，其复合轴承结构将保养间隔延长至 4 年，显著降低维护成本。
智能控制系统是核心优势之一：TC 400 驱动单元与 OmniControl 400 远程控制器通过 RS485 接口实现全参数监控，支持振动预警与远程操作。独特的 “间断模式” 可根据前级真空压力自动启停辅助设备，能源消耗降低 90% 以上，适配绿色工厂需求。
针对不同应用场景优化设计：1×10¹¹ 的氩气压缩比与 4×10⁵的氢气压缩比，确保小分子气体处理，特别适合 CVD/PVD 薄膜沉积工艺；IP54 防护等级与耐化学腐蚀设计，从容应对显示屏制造等复杂环境。15.7-20.8kg 的轻量化机身支持任意方向安装，适配各类真空系统集成。
依托普发服务网络，提供 7×24 小时技术支持与原厂维修服务，配合 49200rpm 高稳定性转子设计，大幅降低设备停机风险。从芯片制造到材料研发，HiPace 700 M 以低能耗、长寿命、高洁净的综合优势，为制造企业打造全生命周期成本的真空解决方案。
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