HiPace 700 P涡轮分子真空泵
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摘要
HiPace 700 P 涡轮分子真空泵结构紧凑，却蕴含强大能量，氮气抽速高达 685 l/s，能够快速地抽取气体，大大缩短工作周期。其极限压力低至 1×10⁻⁷ mbar ，可营造出超高真空环境，满足对真空度要求极为严苛的实验与生产需求。运行时，氢气抽速达 555 l/s ，氦气为 655 l/s ，氩气则是 665 l/s ，针对不同气体均展现出抽气能力 。
产品介绍
HiPace 700 P涡轮分子真空泵
技术规格ISO
抽速
市场和应用
车辆及运输
热处理
冶金
真空铜焊 / 钎焊
热处理
半导体应用
PVD检验与计量
金属和高 K 蚀刻
LPCVD / 扩散光刻技术
氧化物蚀刻，剥离 / 灰化
ALDPECVDSi Poly etch
Load lock 和 传输
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