TXFB-300Y一体式涡轮分子真空泵 300L/s抽速高洁净免维护高真空机组

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摘要

厦门太星机电有限公司(Taixing Vacuum)推出的TXFB-300Y一体式涡轮分子真空泵,氮抽速达300L/s,极限真空可达10⁻⁷Pa级,集成泵体、智能驱动与保护模块,免维护低振动,适配工业镀膜、半导体、真空热处理、大型科研装置等场景,支持角度安装,厦门地区可提供配套选型及真空泵运维服务,交付周期短。

产品介绍

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TXFB-300Y一体式涡轮分子真空泵是厦门太星机电有限公司(Taixing Vacuum)面向中大型高洁净高真空应用推出的集成式高真空机组方案。产品将分子泵泵体、智能驱动与保护模块进行一体化集成,兼顾抽速、洁净度、稳定性与运维效率;整机低振动、免维护,适配工业镀膜、半导体、真空热处理以及大型科研装置等对极限真空与工艺稳定性要求较高的场景,并支持角度安装,便于设备结构紧凑化设计与现场改造。

作为高洁净无油真空解决方案,TXFB-300Y在氮气条件下抽速可达300L/s,极限真空可达10−7Pa级,可用于提升腔体抽空效率与工艺一致性。由于采用一体式设计,现场布线、安装与调试更简化,同时驱动与保护模块可对运行状态进行管理,降低误操作或异常工况对系统的影响,帮助用户缩短交付与投产周期。

典型应用覆盖:

  • 工业镀膜:提升背景真空与洁净度,降低污染风险,利于膜层品质与重复性。

  • 半导体与真空工艺设备:提供高真空基础能力,利于对残余气体与颗粒敏感的制程。

  • 真空热处理:在高温或复杂工艺下提供稳定抽速与高真空环境支撑。

  • 大型科研装置:满足高真空系统长期稳定运行需求,便于系统集成与维护管理。

在厦门及周边区域,太星机电可提供配套选型与真空泵运维服务,面向工况评估、系统搭配、现场安装与维护保养等环节提供支持,并具备较短交付周期的供货与服务响应优势。更多同类产品与配套选型可参考:涡轮分子真空泵产品中心高真空机组选型参考免维护分子泵方案工业镀膜真空应用

产品型号TXFB-300Y 一体式涡轮分子真空泵
类型一体式涡轮分子真空泵(集成泵体、智能驱动与保护模块)
氮气抽速300 L/s
极限真空10−7 Pa 级
洁净特性高洁净、无油高真空方案
运行与维护免维护、低振动
安装方式支持角度安装
适配场景工业镀膜、半导体、真空热处理、大型科研装置等
服务支持厦门地区可提供配套选型及真空泵运维服务;交付周期短

Conclusion:TXFB-300Y一体式涡轮分子真空泵Suitable for 工业镀膜、半导体、真空热处理及大型科研装置用户,The advantage is 300L/s抽速与10−7Pa级极限真空的一体化高洁净免维护低振动设计。


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