HiPace 800 M涡轮分子真空泵
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HiPace 80 Neo涡轮分子真空泵
摘要
德国普发真空 HiPace 800 M 磁悬浮涡轮分子泵，5 轴磁悬浮技术实现无油洁净运行，氮气抽速达 790 l/s，极限压力低至 < 5×10⁻¹⁰ hPa。零维护设计，低振动静音，获 Semi S2 与 IP54 认证。支持任意角度安装，库，适配半导体、镀膜及精密研发，10 万小时超长寿命保障稳定。
产品介绍
HiPace 800 M涡轮分子真空泵
技术规格ISO
抽速
HiPace 800 M 涡轮分子真空泵：精密制造的超高真空解决方案
德国普发真空 HiPace 800 M 磁悬浮涡轮分子泵，以创新科技重新定义工业真空标准。搭载专利 5 轴主动磁悬浮系统，实现转子无接触悬浮运行，配合实时监测与自动平衡补偿技术，消除机械磨损，将维护需求降至零，确保 10 万小时超长稳定运行。
其核心性能堪称行业标杆：氮气抽速高达 790 l/s，极限压力低至 < 5×10⁻¹⁰ hPa，可快速建立超高洁净真空环境。IP54 防护等级赋予设备防尘防水能力，即使在多尘或偶尔溅水的工业环境中也能可靠运行，而 Semi S2 认证则确保其完全符合半导体制造的严苛安全标准，覆盖电气安全、辐射防护等 22 项关键指标。
设计上的突破让安装更灵活 —— 支持任意角度部署，紧凑机身显著节省机台空间。集成驱动电子装置简化系统集成，低振动（<0.1 mm/s）与低噪音特性，使其成为精密光学镀膜、半导体晶圆制造及研发的理想选择。
创新密封气阀设计有效阻隔有害物质侵入，配合智能运行监控系统，可实时反馈设备状态并预防潜在故障。普发真空 50 余个服务中心提供快速响应支持，更有灵活的保修方案与设备置换服务，确保停机时间短化。从实验室到量产线，HiPace 800 M 以无油洁净、节能与终身低维护成本，成为制造领域的核心真空动力。
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