COBRA DS 3181 C干式螺杆真空泵

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关键词：干式螺杆真空泵

摘要

COBRA DS 3181 C 干式螺杆真空泵
专为平板显示器生产设计，零油污染结构油蒸汽干扰，适配 OLED 蒸镀、ITO 溅射等高精度工艺，达 8K 面板标准。支持 8.5 代线基板连续生产，稼动率超 90%，免维护减 90% 运维成本，耐腐材质寿命达 8 年，5 分钟实现预真空，是面板厂商新建 / 升级产线的真空方案。

产品介绍

COBRA DS 3181 C干式螺杆真空泵

干式螺杆真空泵

适用于高要求工艺的新一代干式真空泵

干式螺杆真空泵

技术规格

ISO 50 HzISO 60 HzUS 60 Hz

干式螺杆真空泵

尺寸图

COBRA DS 3181 C

干式螺杆真空泵

抽速

空气温度为 20°C 时，公差：± 10%

干式螺杆真空泵

COBRA DS 3181 C 干式螺杆真空泵 —— 平板显示器生产的洁净真空解决方案

作为平板显示器（FPD）制造领域的核心真空设备，COBRA DS 3181 C 干式螺杆真空泵凭借零油污染设计与超高真空性能，成为 OLED/LCD 面板生产的理想选择。其无油工作腔结构从根源油蒸汽污染，适配显示制造中有机材料蒸镀、ITO 透明导电层溅射等对洁净度要求苛刻的工艺，确保像素精度与薄膜导电性达到 8K 分辨率面板生产标准。

在核心应用场景中，该设备展现出极强的工艺适配性：OLED 蒸镀环节可稳定维持 10⁻⁶ mbar 高真空环境，有效防止有机材料氧化失效；液晶灌注工序中快速排除气泡，使面板显示一致性提升 30% 以上；磁控溅射镀膜时控制腔室压力，保障 ITO 薄膜透光率达 92% 以上。针对显示产业大尺寸基板趋势，其大抽气量设计支持 8.5 代线玻璃基板（2200mm×2500mm）连续生产，稼动率稳定在 90% 以上，显著提升产线效率。

设备还具备显著的运营优势：免维护结构减少 90% 运维成本，无油设计省去废油处理环节，符合 ISO 14001 环保标准；耐腐蚀性材质可应对显示制造中的特种工艺气体，延长设备使用寿命至 8 年以上；5 分钟内可实现 5×10⁻³ Pa 预真空，满足产线快速换型需求。

无论是显示面板厂商的新建产线，还是现有设备的升级改造，COBRA DS 3181 C 都能提供兼具洁净度、效率与经济性的真空解决方案，助力企业在显示技术迭代中抢占先机。

COBRA DS 3181 C 干式螺杆真空泵 —— 平板显示生产的核心技术装备

作为平板显示器（FPD）制造的关键真空设备，COBRA DS 3181 C 凭借硬核技术优势，成为 OLED、LCD 面板产线的方案。其核心技术亮点集中在洁净真空控制与适配能力两大维度，契合显示生产对精度、稳定性的严苛要求。

在洁净技术上，设备采用无油式螺杆腔体设计，从技术根源油蒸汽污染 —— 这一特性对 OLED 有机材料蒸镀工艺至关重要，能稳定维持 10⁻⁶ mbar 高真空环境，避免有机发光层氧化失效，保障 8K 分辨率面板的像素发光一致性，良率提升超 15%。针对 ITO 透明导电层溅射工艺，其高精度压力控制系统可将腔室压力波动控制在 ±0.1 Pa 内，确保薄膜厚度均匀性，使透光率稳定达 92% 以上，满足显示面板的光学性能标准。