COBRA DS 3010/3161 C/G干式螺杆真空泵

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关键词：干式螺杆真空泵

摘要

COBRA DS 3010/3161 C/G 干式螺杆真空泵，专为平板显示 OLED/Mini LED 生产设计！全干式无油结构防污染，碳氢残留＜0.01ppm；PTFE 涂层抗腐，维护周期超 8000 小时。极限真空 1×10⁻³Pa，压力波动≤±0.01Pa，IE4 电机节能 22%，获 SEMI S2 认证，保障面板良率。

产品介绍

COBRA DS 3010/3161 C/G干式螺杆真空泵

干式螺杆真空泵

技术规格

ISO 50 HzISO 60 Hz

干式螺杆真空泵

尺寸图

COBRA DS 3010/3161 C/G

干式螺杆真空泵

抽速

空气温度为 20°C 时，公差：± 10%

干式螺杆真空泵

随着平板显示向 OLED 柔性屏、Mini LED 高分辨率方向升级，镀膜、光刻、封装等核心工序对真空环境的 “零污染、高稳定” 要求愈发严苛，COBRA DS 3010/3161 C/G 干式螺杆真空泵凭借定制化技术设计，成为 FPD 生产线的核心真空设备。

技术层面生产痛点：其一，无油洁净设计是关键 —— 采用全干式螺杆结构，无任何工作液参与真空形成，从根源传统油式真空泵的油雾污染，符合 ISO 14644-1 Class 5 洁净室标准，可直接对接显示基板处理工位，避免因油污染导致的面板报废率（降低至 0.1% 以下）；其二，高精度真空控制适配多工序需求：转子采用五轴联动精密加工，齿间间隙控制在 5μm 内，极限真空度可达 1×10⁻³Pa，抽气速率稳定在 300-360 m³/h，在光刻工序中可维持 ±0.01Pa 的真空波动，保障光刻胶涂覆均匀性；其三，抗污染强化设计应对工艺杂质：泵腔内壁喷涂 PTFE 耐腐蚀涂层，可耐受面板生产中挥发的有机胺（如 TMA）、硅烷等腐蚀性气体，避免结垢堵塞，维护周期延长至 8000 小时以上（是普通干式泵的 1.5 倍）。

市场应用上，该泵适配中小尺寸 OLED（手机 / 平板）、大尺寸 Mini LED（电视）生产线：镀膜环节可配合磁控溅射设备，提供持续高真空；封装环节支持变频调速，快速切换至 50-100Pa 的中真空区间，适配激光封边工艺。同时通过 SEMI S2 安全认证，满足电子制造业严苛标准；电机能效达 IE4 级，比同类型泵节能 22%，一条 10 万片 / 月的 OLED 生产线年省电费超 12 万元。无论是新建产线还是旧设备升级，其 “低污染、高适配、长寿命” 特性，都能为显示企业降低生产成本、提升产品良率。