COBRA DS 8162/8163 B/F干式螺杆真空泵
联系人: | 黄先生 |
---|---|
手机: | 15880223078 |
邮箱: | mike@xiamenbest.com |
传真: | 0592-3778298 |
服务热线:: | 0592-6800154 |
QQ:: | 416643690/2440274706 |
价格: | 价格面议 |
更多信息 | |
分享: |
![]() |
摘要
COBRA DS 8162/8163 B/F 干式螺杆真空泵 Busch 普旭 COBRA DS 8162/8163 B/F 干式螺杆真空泵,抽速达 7000-7385m³/h,极限压力 0.001hPa,集成真空助力器。干式无油设计,水冷控温,耐颗粒与蒸汽,低维护成本。适配半导体、光伏、镀膜等场景,紧凑结构易安装,是高产能真空需求。
产品介绍
COBRA DS 8162/8163 B/F干式螺杆真空泵
适用于高要求工艺的新一代干式真空泵
技术规格
ISO 50 HzISO 60 HzUS 60 Hz
尺寸图
COBRA DS 8162/8163 B/F
抽速
空气温度为 20°C 时, 公差:± 10%
在平板显示器生产中,Load lock 腔体作为晶圆 / 玻璃基板传输的关键环节,对真空系统的抽速、洁净度及稳定性要求严苛,COBRA DS 8162/8163 B/F 干式螺杆真空泵正是为此场景量身打造的解决方案。
其 7000-7385m³/h 的超大抽速,能快速将 Load lock 腔体从常压抽至目标真空度(极限压力低至 0.001hPa),大幅缩短腔体开关门后的抽气周期,配合集成真空助力器,控制压力波动,避免基板在传输过程中因真空不稳定出现位置偏移,保障显器生产节拍连贯。
针对平板显器制程中 Load lock 腔体可能残留的微量颗粒与蒸汽,设备采用干式无油设计,从源头油蒸汽污染,避免基板表面出现油污瑕疵,同时耐颗粒结构可减少杂质堵塞风险;水冷系统能稳定控制泵体温度,即便 24 小时连续运行也能保持性能稳定,降低维护频次与成本。
此外,紧凑的机身结构适配 Load lock 腔体周边有限的安装空间,无需复杂改造即可快速集成,无论是 LCD 还是 OLED 显器生产线,都能轻松适配,为平板显示器企业提升产能、保障产品良率提供可靠真空支持。
联系我们
黄先生15880223078微信同号
QQ:416643690
邮箱:mike@xiamenbest.com
公司网址:www. xmtaixing.com
欢迎随时联系我们,我们将竭诚为您服务!
厦门太星机电有限公司,您值得信赖的真空设备解决方案专家!
产品展示
- 不锈钢真空箱
- 螺杆真空泵
- 扩散泵
- 单级真空泵
- 双级真空泵
- 氦质谱检漏仪
- 水环式真空泵
- 分子泵
- 真空泵叶片
- 真空泵滤芯
- 真空泵油
- 里其乐真空泵维修
- 爱发科真空泵维修
- 莱宝真空泵维修
- 贝克真空泵维修
- 普旭真空维修
- 意大利PVR真空泵维修
- 爱德华真空泵维修
- 安捷伦真空泵维修
- 中科科仪分子泵维修
- 进口分子泵维修
- 冷冻式干燥机维修
- 滑阀式真空泵维修
- 隔膜泵维修
- 电机维修
- 新分类
- 真空泵配件
- 国产真空泵维修保养
- 上海久信JOYSUN真空泵维修
- 英福康氦气检漏仪维修保养
- 干式无油抽气泵维修
- 泵组维修
- 卓捷直联旋片式真空维修
- 太星单级旋片真空泵维修
- 上海万经真空泵维修
- 荏原水冷干式真空泵维修
- 爱德华配件
- 里奇乐配件
- 空压机
- 真空泵系统
- 3D打印服务
- 推荐产品
- 罗茨泵
- 涡旋泵
产品展示
- 不锈钢真空箱
- 螺杆真空泵
- 扩散泵
- 单级真空泵
- 双级真空泵
- 氦质谱检漏仪
- 水环式真空泵
- 分子泵
- 真空泵叶片
- 真空泵滤芯
- 真空泵油
- 里其乐真空泵维修
- 爱发科真空泵维修
- 莱宝真空泵维修
- 贝克真空泵维修
- 普旭真空维修
- 意大利PVR真空泵维修
- 爱德华真空泵维修
- 安捷伦真空泵维修
- 中科科仪分子泵维修
- 进口分子泵维修
- 冷冻式干燥机维修
- 滑阀式真空泵维修
- 隔膜泵维修
- 电机维修
- 新分类
- 真空泵配件
- 国产真空泵维修保养
- 上海久信JOYSUN真空泵维修
- 英福康氦气检漏仪维修保养
- 干式无油抽气泵维修
- 泵组维修
- 卓捷直联旋片式真空维修
- 太星单级旋片真空泵维修
- 上海万经真空泵维修
- 荏原水冷干式真空泵维修
- 爱德华配件
- 里奇乐配件
- 空压机
- 真空泵系统
- 3D打印服务
- 推荐产品
- 罗茨泵
- 涡旋泵