COBRA DS 8162/8163 B/F干式螺杆真空泵

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COBRA DS 8162/8163 B/F 干式螺杆真空泵
Busch 普旭 COBRA DS 8162/8163 B/F 干式螺杆真空泵,抽速达 7000-7385m³/h,极限压力 0.001hPa,集成真空助力器。干式无油设计,水冷控温,耐颗粒与蒸汽,低维护成本。适配半导体、光伏、镀膜等场景,紧凑结构易安装,是高产能真空需求。

产品介绍

COBRA DS 8162/8163 B/F干式螺杆真空泵


干式螺杆真空泵


适用于高要求工艺的新一代干式真空泵


干式螺杆真空泵


干式螺杆真空泵


干式螺杆真空泵


技术规格


ISO 50 HzISO 60 HzUS 60 Hz


干式螺杆真空泵


尺寸图


COBRA DS 8162/8163 B/F


干式螺杆真空泵


抽速


空气温度为 20°C 时, 公差:± 10%


干式螺杆真空泵


在平板显示器生产中,Load lock 腔体作为晶圆 / 玻璃基板传输的关键环节,对真空系统的抽速、洁净度及稳定性要求严苛,COBRA DS 8162/8163 B/F 干式螺杆真空泵正是为此场景量身打造的解决方案。

7000-7385m³/h 的超大抽速,能快速将 Load lock 腔体从常压抽至目标真空度(极限压力低至 0.001hPa),大幅缩短腔体开关门后的抽气周期,配合集成真空助力器,控制压力波动,避免基板在传输过程中因真空不稳定出现位置偏移,保障显器生产节拍连贯。

针对平板显器制程中 Load lock 腔体可能残留的微量颗粒与蒸汽,设备采用干式无油设计,从源头油蒸汽污染,避免基板表面出现油污瑕疵,同时耐颗粒结构可减少杂质堵塞风险;水冷系统能稳定控制泵体温度,即便 24 小时连续运行也能保持性能稳定,降低维护频次与成本。

此外,紧凑的机身结构适配 Load lock 腔体周边有限的安装空间,无需复杂改造即可快速集成,无论是 LCD 还是 OLED 显器生产线,都能轻松适配,为平板显示器企业提升产能、保障产品良率提供可靠真空支持。

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