COBRA DS 0080/0160 G干式螺杆真空泵
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螺杆真空泵
摘要
COBRA DS 0080/0160 G 干式螺杆真空泵 —— 洁净真空解决方案 专为高洁净、无油需求场景设计的 COBRA DS 0080/0160 G 干式螺杆真空泵，采用无油螺杆技术，避免油污染，是半导体、制药、食品、电子等行业的理想选择。其核心优势显著：抽气速率达 80-160 m³/h，极限压力低至≤1 Pa，可应对真空干燥、镀膜、物料输送等工艺；结构紧凑节省空间，运行稳定噪音低，维护便捷更省心。符合 GMP 及食品级洁净标准，搭配售后团队，确保设备长期运行。立即咨询，获取专属真空解决方案！
产品介绍
COBRA DS 0080/0160 G干式螺杆真空泵
技术规格
ISO 50 HzISO 60 Hz
尺寸图
COBRA DS 0080/0160 G
抽速
空气温度为 20°C 时， 公差：± 10%
市场和应用
半导体应用
金属和高 K 蚀刻
LPCVD / 扩散
ALD
PECVD
Si Poly etch
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