COBRA DS 5161–9161 B/F干式螺杆真空泵
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螺杆真空泵
摘要
【Busch 普旭 COBRA DS 5161–9161 B/F 干式螺杆真空泵】 核心市场定位 主攻高洁净、强耐腐、高要求真空场景，覆盖半导体 / 光伏 / 化工 / 制药等制造领域，解决传统油泵 “污染 + 维护繁” 痛点，适配对真空度、稳定性要求严苛的工业场景。 典型应用场景 半导体制造：CVD 薄膜沉积、晶圆蚀刻 / 清洗，无油设计硅片污染，极限压力 0.001 hPa 满足精密工艺； 光伏产业：硅片镀膜、电池片退火，抽速 4200-6160 m³/h 快速建立真空，提升产能 30%； 化工 / 制药：真空蒸馏、溶剂回收、药品冻干，耐腐涂层螺杆抗酸碱 / 水蒸气，符合 GMP / 防爆标准； 新能源领域：锂电池极片干燥、氢燃料提纯，无油运行避免电解液污染，能耗比传统泵低 40%。 市场核心优势 无油洁净：零油污染，适配高洁净工艺； 耐腐耐用：螺杆防腐蚀涂层，维护周期达 2 年； 节能：IE4 电机 + 优化结构，年省运维成本 25%+； 品牌保障：Busch 普旭 50 年技术，2 年质保 + 终身支持。
产品介绍
COBRA DS 5161–9161 B/F干式螺杆真空泵
适用于高要求工艺的新一代干式真空泵
技术规格
ISO 50 HzISO 60 HzUS 60 Hz
尺寸图
COBRA DS 5161–9161 B/F
抽速
空气温度为 20°C 时， 公差：± 10%
【Busch 普旭 COBRA DS 5161–9161 B/F 干式螺杆真空泵】
核心市场定位
主攻高洁净、强耐腐、高要求真空场景，覆盖半导体 / 光伏 / 化工 / 制药等制造领域，解决传统油泵 “污染 + 维护繁” 痛点，适配对真空度、稳定性要求严苛的工业场景。
典型应用场景
半导体制造：CVD 薄膜沉积、晶圆蚀刻 / 清洗，无油设计硅片污染，极限压力 0.001 hPa 满足精密工艺；
光伏产业：硅片镀膜、电池片退火，抽速 4200-6160 m³/h 快速建立真空，提升产能 30%；
化工 / 制药：真空蒸馏、溶剂回收、药品冻干，耐腐涂层螺杆抗酸碱 / 水蒸气，符合 GMP / 防爆标准；
新能源领域：锂电池极片干燥、氢燃料提纯，无油运行避免电解液污染，能耗比传统泵低 40%。
市场核心优势
无油洁净：零油污染，适配高洁净工艺；
耐腐耐用：螺杆防腐蚀涂层，维护周期达 2 年；
节能：IE4 电机 + 优化结构，年省运维成本 25%+；
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