COBRA DS 1200/1800 A/A X干式螺杆真空泵
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摘要
COBRA DS 1200/1800 A/A X 干式螺杆真空泵，凭借无油洁净设计与强劲性能，成为化工、制药、电子、半导体等行业的理想之选，轻松应对腐蚀性、含尘、可凝性气体等复杂工况。
产品介绍
COBRA DS 1200/1800 A/A X干式螺杆真空泵
技术规格
ISO 50 HzISO 60 Hz
尺寸图
COBRA DS 1200/1800 A/A X
抽速
空气温度为 20°C 时， 公差：± 10%
市场和应用
平板显示器生产
物相沉积（PVD）
半导体应用
金属和高 K 蚀刻
LPCVD / 扩散
ALDPECVD
钴、WCVD、TiN 和 TDMAT
退火
Si Poly etch
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