ULVAC 爱发科 UTM1400FW/D1A 涡轮分子泵
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摘要
ULVAC 爱发科 UTM1400FW/D1A 涡轮分子泵 爱发科 UTM1400FW/D1A 涡轮分子泵，具备大抽速与优异压缩比，可稳定实现高真空环境。转子经过精密动平衡调校，运行振动低、噪音小，支持长时间连续作业。适配半导体工艺、真空镀膜、氦质谱检漏、科研实验等场景，低放气，抗负载波动。可配套轴承、密封件、传感器等维保配件，保障真空系统持续稳定运行，是真空获取主力设备
产品介绍
ULVAC 爱发科 UTM1400FW/D1A 涡轮分子泵
爱发科 UTM1400FW/D1A 分子泵，大抽速规格，法兰式进气口，金属机身精密加工。底部配备两组航空接头，用于连接驱动电源，侧面设有气口，可搭配配套控制器使用。广泛应用于真空镀膜、半导体、分析仪器等高真空工况，可提供泵体检测、保养维修，配套驱动与密封备件供应。
ULVAC 爱发科 UTM1400FW/D1A 涡轮分子泵背面
爱发科 UTM1400FW/D1A 分子泵背侧视图，配置多个工艺气口与排气口，壳体标注 W-26、W-27 标识。全金属精密腔体，适配大流量高真空系统，接口布局满足气冷、吹扫需求。多用于半导体、真空镀膜设备，可提供性能测试、保养维修服务，配套驱动、线缆、密封件均可供应。
ULVAC 爱发科 UTM1400FW/D1A 涡轮分子泵侧视
爱发科 UTM1400FW/D1A 涡轮分子泵侧视图，顶部为大口径法兰进气口，下部配有快卡排气口与冷却气接头。整机为精加工不锈钢材质，结构稳固，适合高真空连续作业。广泛配套于镀膜、半导体工艺设备，支持泵体检测、保养维修，配套控制器、连接线及密封配件均可一站式供应。
ULVAC 爱发科 UTM1400FW/D1A 涡轮分子泵进气口
爱发科 UTM1400FW/D1A 分子泵进气端视图，大法兰配多孔防护网罩，内部可见精密涡轮叶片组。动叶结构经过动平衡处理，抽气效率高，防护网可阻挡异物进入泵腔，保护转子。适配半导体、真空镀膜等高真空设备，可提供泵体检修、动平衡保养，配套驱动与密封备件均可供应。
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