COOLVAC低温泵
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摘要
莱宝 COOLVAC 低温泵为制冷式气体捕集泵，依托低温冷凝吸附获取洁净无烃超高真空，压力区间 10⁻³~10⁻¹¹mbar，抽速覆盖 1500~60000L/s，水汽抽速优异。泵体不锈钢材质，内置安全阀，支持全自动再生，泵内无运动部件、抗震动，维护简便。广泛应用于真空镀膜、半导体、科研空间模拟、光学镀膜等领域，运行稳定，综合使用成本低。
产品介绍
Leybold 莱宝 COOLVAC iCL 低温泵搭配 COOLPOWER 冷头
COOLVAC iCL 低温泵集成 COOLPOWER 冷头，整套超高真空单元采用气体低温捕集原理。真空侧无运动部件，无油脂污染，洁净度高，工作压力可达 10⁻³ 至≤10⁻¹¹ mbar。冷头采用吉福德 - 麦克马洪制冷原理，冷表面冷凝吸附水汽、氢气等各类气体，对水与氢气抽速尤为突出。配套独立控制盒，实时监测设备状态，可联动 COOLPAK 氦气压缩机。整机抗振动、抗粉尘干扰，适配精密镀膜、空间环境模拟、半导体、科研研发等高洁净超高真空工艺。
Leybold 莱宝 COOLVAC e 制冷低温泵
COOLVAC e 属于气体捕集式制冷低温泵，依靠低温冷凝原理，让气体凝结在泵内冷表面以获取超高真空，工作区间 10⁻³～10⁻¹¹ mbar，产出无碳氢洁净真空。泵体选用优质不锈钢材质，全系标配安全阀，附带 DN40 KF 法兰，可外接排气管路，提升运行安全。冷头集成于低温泵本体，运行搭配 COOLPAK 氦气压缩机。真空侧无机械运动部件、无油脂污染，对各类气体抽气效率高，适配精密镀膜、空间模拟、半导体、科研实验室等高洁净超高真空场景。
Leybold 莱宝 COOLVAC e 低温泵 eSL/eBL 两大系列优势
COOLVAC e 低温泵分为 eSmartLine (eSL) 与 eBasicLine (eBL)。eSL 搭载 COOL.DRIVE e 控制器与电加热再生系统，全自动再生，逐级释放氢气、氮气、水汽等捕集气体，再生无需净化气体，搭配 COOLPAK 5000e 拥有增强冷却、节能、自定义三种运行模式。eBL 为手动再生机型，技术参数与 eSL 一致，但不含控制器、加热器、真空计与前级阀。全系无碳氢无油真空，抽速高，处理氩气、氢气能力强，现场维修便捷，无需拆泵重调真空系统，适配各类超高真空工艺。
Leybold 莱宝 COOLVAC 高性能低温泵整套系统
整套低温真空系统包含 COOLVAC eSL 低温泵、COOLPAK 5000e 氦气压缩机与 COOL.DRIVE e 控制单元，面向科研与工业超高真空应用。eSL 机型搭载全自动电加热再生系统，可逐级释放吸附、冷凝捕获的各类气体，再生无需额外净化气体。搭配压缩机支持增强冷却、节能、定制三种运行模式，无烃无油真空，抽速高，对氢气、氩气处理能力突出。现场维修简便，无需拆卸泵体、重新调校真空系统，广泛用于精密镀膜、空间环境模拟、半导体等高洁净超高真空工艺。
Leybold 莱宝 COOLVAC eSL 低温泵配 COOL.DRIVE e 控制器
COOLVAC eSL 低温泵集成内置冷头，搭配独立 COOL.DRIVE e 电控单元，属于全自动再生型超高真空低温泵。依靠低温冷凝吸附捕集气体，真空侧无油脂、无机械运动部件，产出无碳氢洁净真空。控制器实时监测压力、温度与加热功率，按顺序自动完成再生，逐级释放氢气、氮气、水汽等捕集气体，再生无需净化气体。整机抽速高，处理氩气、氢气性能优异，现场维护便捷，无需拆泵重调真空系统，适配科研、精密镀膜、半导体等高洁净超高真空场景。
Leybold 莱宝低温系统不锈钢编织氦气软管
这款不锈钢编织软管是 COOLPAK 氦压缩机与 COOLVAC 低温泵之间的高纯氦气输送管路配件。外层金属编织网强化抗拉、抗弯折能力，内部密封层保障氦气无泄漏，两端标准化金属接头，安装拆装便捷。红绿标识区分高低压管路，适配低温系统高压高纯氦气循环工况，耐高低温、抗振动，有效吸收设备运行产生的位移应力。专为莱宝整套低温真空系统配套，保障氦气回路连续稳定输送，是低温泵系统连接配件。
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