低温泵 COOLVAC 5000 iCL
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COOLVAC 5000 iCL 低温泵 莱宝 COOLVAC 5000 iCL 低温泵，搭载两级冷头与 COOL.DRIVE 智能控制，实现无烃洁净超高真空。DN400 ISO-K 法兰，水汽抽速优异，工作区间 10⁻³~10⁻¹¹mbar，支持全自动再生。配套 COOLPAK 5000i 氦压缩机，稳定可靠。适用于真空镀膜、半导体、空间模拟、科研高真空场景，低维护，可提供全套备件与维修服务。
产品介绍
莱宝 COOLVAC 5000 iCL 低温泵
莱宝 COOLVAC 5000 iCL 低温泵搭配 COOL.DRIVE 驱动单元，大抽速输出无油洁净超高真空。大口径 CF 法兰，水汽抽吸性能强悍，内置辐射屏与障板降低热负荷。配备吊环与支架，方便吊装就位，集成阀组支持自动再生泄压。整机运行稳定，耐受杂质能力强，适配大型镀膜、半导体及大腔体科研设备，密封可靠，是大工况高真空。
莱宝 COOLVAC 5000 iCL 低温泵侧视尺寸图，单位毫米。进气法兰 DN400 ISO K，法兰外径 Φ450mm，整机总高 712mm，驱动单元横向 257mm。图纸展示泵体、支架吊环、阀组管路布局，方便腔体对接与设备布局规划。整机自带支架吊环便于吊装，集成阀组，支持自动再生，大抽速无油真空，适配大型镀膜、半导体大腔体工艺设备。
莱宝 COOLVAC 5000 iCL 低温泵法兰端面尺寸图，单位毫米。俯视可见 DN400 ISO K 法兰，内部配置障板组件，吊耳可旋转 60°，吊耳突出尺寸 255mm。用于腔体开孔校核与安装空间规划，吊耳设计方便设备吊装就位。大口径带来超大抽速，整机集成阀组，支持自动再生，无油洁净真空，适配大型镀膜、半导体大腔体工艺场景。
莱宝 COOLVAC 低温泵依靠一、二级冷头制冷，冷伞低温冷凝捕获气体，产出无油洁净超高真空。配置热辐射防护屏与障板，减少热辐射损耗，提升抽气效率。安全阀守护再生工况安全，氦气接口保障制冷循环。高真空法兰对接腔体，冷头电机驱动整套制冷，可实现自动再生。多用于大型镀膜、半导体设备，性能稳定，满足大腔体高真空工艺需求。
厦门太星经销莱宝 COOLVAC 制冷低温泵，涵盖 iCL 全自动电加热再生与 BL 自然再生系列，氮气抽速 1500 60000l/s。标配安全阀保障泄压安全，iCL 可控分步排气，消除可燃气体混合风险。支持多泵共用 COOLPAK 压缩机，降低运行成本、节省占地，可承接航天模拟特殊定制，适用于蒸发、溅射、离子注入、光学镀膜等高真空工况。
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