低温泵 COOLVAC 1500 iCL

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关键词: 双级制冷低温泵

摘要

# COOLVAC 1500 iCL 低温泵

COOLVAC 1500 iCL 为莱宝全自动再生低温泵,依靠双级制冷,通过低温冷凝与吸附捕集气体分子,实现洁净超高真空,工作区间 10⁻³‑10⁻¹¹mbar。氮气抽速 1500L/s,水汽抽速优异,整机无油无烃污染,泵内无运动部件,振动小运行稳定。搭载 iCL 智能控制系统,支持全自动再生,操作便捷,适配镀膜、科研等工况。厦门太星有限公司供应该泵及配套配件,可提供选型、供货与技术支持,助力真空系统稳定运行。

产品介绍

低温泵 COOLVAC 1500 iCL

莱宝(Leybold)COOLVAC 2000 iCL 低温泵,配套 COOL.DRIVE 驱动单元,属于高真空低温冷凝泵。依靠低温冷凝捕获气体,可获得洁净无油真空环境,抽速大,水汽捕获能力强。集成电磁阀、管路组件,自动化程度高,适配半导体、镀膜、科研真空腔体。适合需要超高洁净真空工况,需定期再生除霜,驱动盒负责制冷控制与状态监测。


双级制冷低温泵


莱宝 COOLVAC 2000 iCL 低温泵三维线稿图,右侧为 COOL.DRIVE 制冷驱动单元。泵体上方是大口径 CF 法兰进气口,内部配置低温冷凝板;下部集成冷头、真空阀门、电磁阀、管路接头与快装卡箍组件。整套实现抽气、再生、泄压一体化,用于获取洁净无油高真空,多用于镀膜、半导体科研设备,需配合前级泵,定期执行再生除霜维护。

双级制冷低温泵



莱宝 COOLVAC 2000 iCL 低温泵端面尺寸图,单位全部为毫米 (mm)。视图为泵入口法兰俯视视角,大口径 CF 法兰布满螺栓孔,内部可见低温吸附板组件。标注尺寸:168mm 为侧向接口中心高度,33mm 为侧向接口中心偏移距离,右侧外接 COOL.DRIVE 驱动模块。该图纸用于腔体接口开孔、空间布局校核,金属 CF 法兰保障超高真空密封,装配时留意侧向管路避让空间。


双级制冷低温泵


莱宝 COOLVAC 2000 iCL 低温泵侧视尺寸图,单位全部为毫米 (mm)。进气法兰 DN200 CF,法兰外径 Ø253mm;泵总高 555mm,关键分段高度:320mm、406mm、437mm;右侧 COOL.DRIVE 驱动盒宽 242mm、高 548mm。图纸完整展示泵体、冷头、电磁阀、管路接头布局,用于设备安装空间规划,需预留检修与再生操作空间,适配腔体 DN200 CF 金属密封接口。


双级制冷低温泵


莱宝 COOLVAC 系列低温泵

莱宝 COOLVAC 低温泵采用两级制冷冷头结构,依靠冷伞低温冷凝捕获气体,输出洁净无油超高真空。配置热辐射防护屏与障板,有效降低热负荷,提升抽气效率,水汽抽捕性能优异。自带安全阀、氦气接口与电控冷头电机,支持自动再生泄压,运行稳定可靠。适配镀膜、半导体、科研实验等高洁净工况,金属 CF 法兰密封,安装维护便捷,是获取高品质高真空的设备。


双级制冷低温泵


厦门太星供应莱宝 COOLVAC 制冷机低温泵,分为 ClassicLine (iCL 全自动电加热再生) 与 BaseLine (BL 自然再生) 两大系列,氮气抽速覆盖 150060000l/s。标配安全阀保障设备安全,iCL 可控加温再生,规避可燃混合气体风险。支持多泵共用一台压缩机,缩减占地与运行成本,可定制航天模拟特殊机型,适配溅射、离子注入、光学镀膜等真空设备。


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