普发真空（PFEIFFER）HiPACE 系列涡轮分子泵
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摘要
普发真空 Pfeiffer HiPace 系列涡轮分子泵，采用精密多级涡轮叶轮结构，可选混合轴承与磁悬浮版本，启动速度快，运行低振动低噪音。抽气性能优异，轻松获取超高真空，部分机型配备耐腐蚀涂层。广泛用于真空镀膜、半导体、质谱分析设备，结构紧凑，维护周期长，整机、泵芯及配套配件齐全，现货可提供选型支持。
产品介绍
普发真空（PFEIFFER）HiPACE 系列涡轮分子泵，是用于产生高 / 超高真空环境的核心抽气设备，常用于半导体制造、科研仪器等场景的真空系统搭建。
普发真空 HiPACE 系列涡轮分子泵的抽速 - 压力特性曲线，它展示了该泵对 N₂、He、H₂、Ar 等不同气体，在不同入口压力下的抽速（单位 L/s）变化规律，是评估其真空抽气性能的核心技术图表。
普发真空 HiPACE 系列涡轮分子泵的安装尺寸图，标注了泵体的机械规格（如 M8 安装孔、DN160 ISO-K 高真空接口、DN25 ISO-KF 辅助接口）及关键尺寸参数，是真空系统集成安装的核心技术图纸。
可按需挑选对应产品变体，查看详细规格参数。普发 HiPace 系列涡轮分子泵拥有多款型号，抽速、法兰、轴承类型各有差异，适配不同真空工况。选型时可结合极限真空、负载要求与安装条件匹配机型，支持整机、泵芯及配件咨询，可提供技术选型协助与现货报价。联系我们
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