莱宝 COOLVAC 2000 iCL 低温泵
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摘要
莱宝 Leybold COOLVAC 2000 iCL 低温泵，i 系列智能型超高真空冷泵，依靠低温冷凝捕集气体，产出无烃洁净真空，对水汽抽速优异。搭载 COOL.DRIVE 智能控制器，支持全自动再生，运行低振动。可稳定达到 10⁻¹¹mbar 超高真空，适配真空镀膜、半导体、科研分析设备，自带安全阀保障安全，整机及维修备件现货供应。
产品介绍
莱宝 COOLVAC 2000 iCL 低温泵，搭配 COOL.DRIVE 驱动单元，实现洁净无油超高真空。DN200 CF 大口径法兰，抽速大，水汽捕获能力突出。内置热屏蔽、障板、安全阀，可自动完成再生泄压。整机集成阀组管路，减少现场装配，运行稳定，适配镀膜、半导体、科研真空设备，密封性强，维护简单，是高洁净真空工况可靠选择。
莱宝 COOLVAC 系列低温泵侧视尺寸图纸，单位毫米。进气法兰 DN250 CF，法兰外径 Ø305mm；泵体总高 559mm，分段高度 300mm、410mm、442mm；右侧 COOL.DRIVE 驱动盒高度 553mm。图纸完整呈现泵体、冷头、电磁阀与管路布局，用于设备空间布局、腔体对接设计。CF 金属法兰密封性能优异，整机阀组集成，减少现场配管工作量，适配镀膜、半导体等高洁净真空场景。
莱宝 COOLVAC 低温泵法兰端面尺寸图，单位毫米。俯视视角可见 DN250 CF 大口径法兰，布满螺栓孔，内部装配障板组件。关键尺寸：总宽 394mm，驱动盒横向 242mm，侧向接口偏移 91mm，中心高度 131mm。用于腔体接口开孔与空间校核，CF 金属法兰保障超高真空密封，选型装配时留意驱动盒侧向避让空间，适配半导体、镀膜等高洁净真空设备。
莱宝 COOLVAC 低温泵结构原理图，整机由高真空法兰、泵体、热辐射防护屏、障板、一二级冷头、冷伞、安全阀、氦气接口、冷头电机组成。依靠冷伞超低温冷凝吸附气体，获得无油洁净超高真空。辐射屏与障板降低热负荷，安全阀保障再生安全，支持自动再生作业。广泛用于镀膜、半导体、科研设备，CF 法兰密封可靠，性能稳定，是高真空工艺理想选型。
厦门太星经销莱宝 COOLVAC 制冷低温泵，分为 iCL 全自动电加热再生与 BL 自然再生系列，氮气抽速 1500 60000l/s。设备配置安全阀，保障泄压安全。iCL 可控加温再生，规避可燃混合气风险。支持多泵共用 COOLPAK 压缩机，降低投入、节省占地，可定制航天模拟特种机型，广泛用于溅射、离子注入、蒸发及光学镀膜工艺。
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