低温泵 COOLVAC 3000 iCL

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 Leybold COOLVAC 3000 iCL 低温泵

莱宝 COOLVAC 3000 iCL 超高真空低温泵,抽速大,水汽与气体捕获能力强,稳定获得洁净超高真空。搭载智能 iCL 控制模块,自动再生,运维便捷。适配镀膜、半导体、分析仪器等工艺。泵体结构可靠,油气零污染。本店可供应整机及冷头、密封等全套备件,承接低温泵维修保养与重建服务。

产品介绍

莱宝 COOLVAC 3000 iCL 低温泵

莱宝 COOLVAC 3000 iCL 低温泵,配套 COOL.DRIVE 驱动单元,实现大抽速无油超高真空。大口径 CF 法兰,水汽抽捕能力强劲,内置辐射屏与障板降低热负荷。整机集成阀组,可自动完成再生泄压,配有吊环支架方便吊装安装。运行稳定,杂质耐受度高,适配大型镀膜、半导体、科研真空设备,密封可靠,是大腔体高洁净真空。


低温泵 COOLVAC 3000 iCL


莱宝 COOLVAC 低温泵依靠一二级冷头制冷,冷伞超低温冷凝吸附气体,获取无油洁净超高真空。配置热辐射防护屏与障板,减少热辐射侵入,提升抽气性能。安全阀保障再生过程安全,氦气接口实现循环制冷,金属高真空法兰密封优异。广泛用于镀膜、半导体、科研腔体,运行稳定,可自动再生,是高洁净真空工艺的可靠设备。



低温泵 COOLVAC 3000 iCL


莱宝 COOLVAC 制冷机低温泵

厦门太星供应莱宝 COOLVAC 低温泵,分为 iCL 全自动电加热再生、BL 自然再生两大系列,氮气抽速覆盖 150060000l/s。标配安全阀实现安全泄压,iCL 可控顺序排气,可燃混合气隐患。可多泵共用 COOLPAK 压缩机,压缩成本、节约空间,支持航天模拟特种定制,适配蒸发、溅射、离子注入、光学镀膜等高真空工艺。


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