低温冷凝泵(低温泵) 低温泵属于超高真空获取设备

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摘要

低温冷凝泵(低温泵)为无油型超高真空获取设备,依靠低温吸附原理捕集气体分子,腔体无油气污染。对水汽、氢气等轻气体抽除能力优异,可快速获得洁净超高真空。设备集成冷头与标准法兰接口,运行稳定,适配真空镀膜、半导体工艺及科研实验,满足高洁净工况需求,是高品质真空系统主机设备。

产品介绍

低温冷凝泵低温泵 低温泵属于超高真空获取设备,依靠低温制冷吸附气体分子,实现洁净无油真空环境。设备集成制冷头、进气法兰,无需油介质污染腔体,抽除水气、氢气等轻气体效果突出。多用于镀膜、半导体及科研实验,可获得超高真空,运行洁净,是对真空洁净度有高要求工况的核心真空设备。


无油真空泵


泵的外形图


无油真空泵



对氮气的抽速曲线


无油真空泵


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主泵组件剖视图

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安捷伦 Ion CombiNEG 系列高真空离子泵


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CombINiEG 泵的外形图


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CombINiEG 泵的核心组件


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Ion CombiNEG 150-1000 和 150-2000 泵(StarCell 版本)的主泵组件剖视图,其中分别安装了 D 1000 和 D 2000 吸气剂泵。

它属于真空设备领域的复合型离子泵结构展示图,通过剖视图清晰呈现了内部的离子泵单元(紫域,即 StarCell 技术的离子泵结构)和 D 1000/D 2000 吸气剂泵(绿色区域)的装配关系,用于直观展示该系列泵的核心组件布局与集成设计。


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