普发真空（Pfeiffer Vacuum）A100L 干式真空泵
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摘要
普发真空 A100L 多级罗茨干式真空泵，100m³/h 抽速，无油洁净运行，极限真空可达 6.6×10‑3hPa。整机结构紧凑，配备 RS232/485 通讯接口，便于系统集成监控，振动噪音低，维护周期长。适配半导体负载锁、镀膜、科研设备，是分子泵机组稳定可靠的干式前级泵。
产品介绍
普发真空（Pfeiffer Vacuum）A100L 干式真空泵，属于无油多级罗茨泵，具备洁净抽气、低维护的特点，广泛应用于半导体、光伏、工业分析等领域，用于创建和维持真空环境。
普发真空（Pfeiffer Vacuum）某型号干式真空泵的抽速曲线，用于呈现该泵在 50Hz 工作频率下，抽气速率（纵轴，单位 m³/h）随入口压力（横轴，单位 hPa）的变化规律，是评估其真空性能的关键图表之一。
普发真空（Pfeiffer Vacuum）某型号干式真空泵的抽气时间 - 入口压力曲线，展示了在 50Hz 工况下，对 1000 升容积的腔室抽气时，入口压力（纵轴，单位 hPa）随时间（横轴，单位 sec）的变化关系，用于体现该泵的抽气效率和真空建立过程。
普发真空（Pfeiffer Vacuum）某型号干式真空泵的尺寸图纸，标注了该泵的进气口（Inlet DN 50）、出气口（Outlet DN 25）等关键部件的位置及整体的长、宽、高尺寸参数，用于指导设备的安装、适配等工程应用场景。
普发真空 A100L 干式真空泵，拥有 100m³/h 大抽速，采用 380‑400V 工业高压供电，配置 16 针 I/O 接口，便于设备远程联动控制。整机流量表现优异，无油干式输出保障真空洁净度，运行稳定可靠，适配半导体、镀膜、科研真空机组，可作为分子泵高性能前级泵使用。
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