CTI 低温冷凝泵（冷泵 / 低温泵）

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关键词：低温冷凝泵

摘要

CTI 低温冷凝泵以低温冷凝吸附原理，实现高洁净度高真空，极限真空可达 10⁻⁷Pa 级，对氢气、水蒸气抽速优异，适配 CF/ISO 标准法兰接口。无油运行，低污染、稳定性强，配备自动再生功能，降温迅速，广泛应用于半导体刻蚀、离子注入及镀膜等高洁净真空制程，是工业真空系统的可靠核心设备。

CTI 低温冷凝泵（冷泵 / 低温泵），多用于半导体高真空工艺。它以低温冷凝吸附实现高洁净真空，对轻气体抽速高，适配离子注入、刻蚀等场景。设备集成度高、运行稳定，是高真空系统的核心部件，广泛应用于对真空洁净度与稳定性要求严苛的工业制程。

低温冷凝泵

CTP320C 低温泵（Cryopump-CTP320C），一款高真空低温冷凝泵。极限真空可达 10⁻⁷Pa，对氢气、水蒸气抽速最高达 12000/10000L/s，吸气口支持 CF300/ISO320 法兰。配备自动再生控制器，降温时间＜140 分钟，适用于高洁净度真空工艺场景。

低温冷凝泵

CTP200B 低温冷凝泵（Cryopump-CTP200B），一款高洁净度工业低温真空泵。极限真空可达 10⁻⁷Pa，对水蒸气抽速达 4000L/s，吸气口采用 CF-200 标准法兰，质量仅 29kg，降温时间≤100min、再生时间≤162min，适用于中小型高真空制程场景。

低温冷凝泵

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