COBRA DS 8161 F 是普发真空（Pfeiffer Vacuum）生产的一款螺杆真空泵的型号名称
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LGB 系列变螺距干式螺杆真空泵
摘要
普发真空 COBRA DS 8161 F 干式螺杆真空泵，集成罗茨增压单元，额定抽速 6000m³/h，极限压力可达 0.001hPa。无油非接触螺杆结构，间接水冷控温，耐粉尘、高氢气处理能力，运行稳定、维保周期长，整机结构紧凑便于现场安装适配。适用于半导体 CVD、ALD、化工工艺排气，是严苛工况下高性能干式真空主抽设备。
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