COBRA DS 8162/8163 B/F干式螺杆真空泵
| 联系人： | 黄先生 |
|---|---|
| 手机： | 15880223078 |
| 邮箱： | mike@xiamenbest.com |
| 传真： | 0592-3778298 |
| 服务热线：： | 0592-6800154 |
| QQ:： | 416643690/2440274706 |
| 价格： | 价格面议 |
| 更多信息 | |
| 分享： |
|
摘要
COBRA DS 8162/8163 B/F 干式螺杆真空泵，以无油洁净技术与超强性能，成为平板显示器生产中 Load lock 腔体的理想搭档，为高要求真空工艺保驾护航。 核心优势，一眼看透 无油洁净，杜绝污染：全干式设计，无润滑油参与压缩，彻底避免油雾污染，完美适配平板显示生产中对玻璃基板、OLED 材料等的超高洁净要求，保障薄膜沉积、镀膜等工艺的良品率。 超强抽速，提升效率：集成罗茨增压泵，抽速高达 7000 - 7385 m³/h，极限压力低至 0.001 hPa，快速实现 Load lock 腔体的真空循环，加速基板传输节拍，显著提升产线效率。 抗造耐用，减少维护：螺杆转子抗颗粒、耐腐蚀，轻松应对工艺中的粉尘、溶剂蒸汽等，配合长效润滑技术，大幅延长维护间隔，降低停机损失。 紧凑灵活，便捷集成：模块化设计节省空间，可快速安装到 Load lock 腔体等狭窄位置，适配各类生产线布局，降低改造难度。
产品介绍
COBRA DS 8162/8163 B/F干式螺杆真空泵
适用于高要求工艺的新一代干式真空泵
技术规格
ISO 50 HzISO 60 HzUS 60 Hz
尺寸图
COBRA DS 8162/8163 B/F
抽速
空气温度为 20°C 时， 公差：± 10%
一、市场地位与行业趋势
· 高增长领域主导者：在平板显示器（LCD/OLED/QLED）及光伏产业的洁净真空需求爆发背景下，Busch 作为真空技术，其COBRA DS 系列干式螺杆真空泵凭借性能成为半导体级精密制造（含 FPD）的主流选择。尤其在Load Lock 腔体真空系统细分市场中，该系列凭借高抽速、模块化设计及抗污染能力占据地位。
· 洁净生产刚性需求：随着面板尺寸增大（如 8.5 代 / 10.5 代线普及）及工艺复杂度提升（如 OLED 多层薄膜沉积、量子点封装），超高洁净度、低颗粒污染及快速真空循环成为 Load Lock 系统的核心要求。传统油封泵因油雾污染良率、维护频繁等缺陷逐渐被淘汰，干式螺杆真空泵成为行业升级的技术。
· 成本效益驱动选择：DS 系列通过超长维护间隔（精密轴承 + PFPE 润滑技术）、变频节能设计及模块化集成，显著降低运维与能耗成本，满足 FPD 产线大规模部署的经济性需求。 FPD 真空设备市场规模持续扩张，Busch 凭借成熟验证的半导体工艺经验与本地化服务网络，持续市场份额增长。
二、核心应用场景：Load Lock 腔体的关键价值
在平板显示器生产中，Load Lock 腔体（负载锁室）是连接大气环境与高真空工艺腔室的核心缓冲单元，其核心功能包括：
1. 物料传输：快速抽真空与充压，实现玻璃基板、晶圆等物料在大气端与高真空镀膜 / 刻蚀 / 沉积腔室间的转运，大幅缩短节拍时间，提升产能。
2. 洁净隔离保障：避免工艺腔室频繁暴露大气引入颗粒污染或氧化风险，确保薄膜（如 TFT 电极、OLED 发光层、偏光片）的纯净度与均一性。
3. 气体 / 溶剂兼容处理：耐受镀膜工艺尾气中的腐蚀性气体（如硅烷、氟化物）、有机溶剂蒸汽（如 PGMEA）及工艺颗粒（粉尘 / 聚合物碎屑）。
COBRA DS 8162/8163 B/F 真空泵是 Load Lock 腔体的理想解决方案，深度匹配其严苛要求：
三、Load Lock 腔体适配的核心优势解析
1. 超高抽速与快速循环能力
· 集成罗茨增压泵设计：真空泵与罗茨真空助力器一体化集成于同一底座，实现行业的抽速性能（DS 8162 F：7,000 m³/h；DS 8163 B：7,385 m³/h），并将极限压力降至 0.001 hPa。这一设计显著缩短 Load Lock 腔体的抽气时间（从大气压至工艺真空），加速玻璃基板传输节拍，直接提升整线生产效率。
· 宽工况稳定抽速：即使在高氢气吞吐量（如光伏镀膜尾气）、高溶剂蒸汽（PGMEA 溶剂回收）或含颗粒气体工况下，仍保持强劲抽速输出，适应原子层沉积（ALD）、快速热处理（RTP）等复杂 Load Lock 切换需求。
2. 革命性干式无油设计 —— 洁净工艺的核心保障
· 全干式腔体油污染：螺杆转子采用单件铸造无间隙结构，压缩腔内完全无润滑油参与，消除油雾颗粒对玻璃基板表面或薄膜层的污染风险，严格满足光刻胶涂布、薄膜沉积等超高洁净 Load Lock 工艺要求。
· 抗污染耐受性：
· 防颗粒侵入设计：工艺气体中的粉尘、聚合物碎屑或反应副产物（如刻蚀残渣）可无阻碍通过泵体排出，避免沉积损伤内部组件，延长使用寿命。
· 溶剂 / 腐蚀性气体兼容：间接水冷系统优化温控（适应溶剂蒸汽冷凝工况），可选防腐涂层或特殊密封材料（针对腐蚀性气体如 CF₄/O₂ 混合尾气），确保长期稳定运行于 OLED 蒸发、TFT 刻蚀等腐蚀性 Load Lock 环境。
3. 紧凑灵活的模块化架构 —— 空间与集成的解
· 就地安装（Fit-in-Place）设计：优化结构实现快速集成至现有 Load Lock 系统狭窄空间，减少改造停机时间。罗茨泵与前级泵组合于单一底座，显著节省占地面积，特别适配高容量 Load Lock 腔体集群或连续镀膜线的紧凑布局要求。
· 即插即用兼容性：标准化接口与控制协议便于无缝对接自动化物料传输系统（AMHS）或上位机监控平台，支持变频调速（按需选配），动态匹配 Load Lock 频繁启停与变工况需求，进一步降低能耗与运维复杂度。
4. 低运维成本与高可靠性 —— 全周期价值最大化
· 超长维护间隔与耐用性：精密轴承技术结合 PFPE 特种润滑脂大幅降低磨损，延长保养周期（显著减少人工干预与耗材更换），减少计划外停机损失，最大化设备。
· 智能能效与静音运行：电机配合可选变频控制优化能耗；专利自平衡螺杆设计抑制振动，噪音等级 ≤ 78 dB(A)，改善洁净室操作环境舒适性，符合静音生产规范。
· 全生命周期支持：Busch 覆盖安装调试、预防性维护到远程监控的服务网络，根据具体 Load Lock 工艺气体特性（颗粒 / 腐蚀性负载）定制解决方案，确保长期稳定运行。
四、典型应用场景举例
1. LCD 面板制造：玻璃基板进出高真空镀膜腔体（如 ITO 透明导电层、滤色片蒸镀）的 Load Lock 抽气，确保薄膜均一性与良率。
2. OLED 柔性显示：阻隔大气水汽 / 氧气侵入蒸发腔室，保障有机发光层材料纯净度，支持柔性基板快速转运的真空循环。
3. 光伏太阳能电池片产线：硅片制绒、扩散、镀膜工艺间的 Load Lock 传输（如 TOPCon/HJT 电池片双面镀膜），耐受氢气、氨气等高吞吐量气体环境。
4. 光学 / 电子器件封装：精密光学元件（镜头 / 滤光片）、传感器芯片硬质涂层（DLC 类金刚石）等对洁净度敏感的 Load Lock 真空环节。
五、为什么 Busch COBRA DS 是 Load Lock 的？
· 行业标杆验证：Busch 在半导体及 FPD 精密制造领域拥有大量成熟安装案例，COBRA DS 系列通过严苛工艺环境验证，是高洁净真空可靠性的代名词。
· 定制化工艺适配：针对 Load Lock 具体气体成分（腐蚀性 / 颗粒负载）与空间限制，提供专属防腐方案或模块化集成设计，保障系统长期无故障运行。
· 优化：低维护、长寿命、高能效及高产线效率提升（抽速驱动节拍加速）综合降低单位基板生产成本，契合 FPD 行业大规模、成本敏感型生产特征。
结语
Busch COBRA DS 8162/8163 B/F 干式螺杆真空泵凭借超高抽速集成设计、革命性无油洁净技术、紧凑模块化架构及全周期可靠性，成为平板显示器生产 Load Lock 腔体真空解决方案的黄金标准。无论是加速 TFT-LCD 镀膜节拍、保障 OLED 材料纯净度，还是优化光伏电池片转运效率，它都通过技术创新与工艺理解的深度融合，为精密制造提供坚实的真空基石。选择 COBRA DS 系列，即是选择产能提升、良率保障与成本可控的未来。
立即联系我们获取定制化方案，体验专为 Load Lock 高要求环境打造的真空革新力量！（注：具体参数与选件配置请参考产品手册或垂询技术专家。）
联系我们
黄先生15880223078微信同号
QQ：416643690
邮箱：mike@xiamenbest.com
公司网址：www. xmtaixing.com
欢迎随时联系我们，我们将竭诚为您服务！
厦门太星机电有限公司，您值得信赖的真空设备解决方案专家！
产品展示
- 不锈钢真空箱
- 螺杆真空泵
- 扩散泵
- 单级真空泵
- 双级真空泵
- 氦质谱检漏仪
- 水环式真空泵
- 分子泵
- 真空泵叶片
- 真空泵滤芯
- 真空泵油
- 里其乐真空泵维修
- 爱发科真空泵维修
- 莱宝真空泵维修
- 贝克真空泵维修
- 普旭真空维修
- 意大利PVR真空泵维修
- 爱德华真空泵维修
- 安捷伦真空泵维修
- 中科科仪分子泵维修
- 进口分子泵维修
- 冷冻式干燥机维修
- 滑阀式真空泵维修
- 隔膜泵维修
- 电机维修
- 新分类
- 真空泵配件
- 国产真空泵维修保养
- 上海久信JOYSUN真空泵维修
- 英福康氦气检漏仪维修保养
- 干式无油抽气泵维修
- 泵组维修
- 卓捷直联旋片式真空维修
- 太星单级旋片真空泵维修
- 上海万经真空泵维修
- 荏原水冷干式真空泵维修
- 爱德华配件
- 里奇乐配件
- 空压机
- 真空泵系统
- 3D打印服务
- 推荐产品
- 罗茨泵
- 涡旋泵
产品展示
- 不锈钢真空箱
- 螺杆真空泵
- 扩散泵
- 单级真空泵
- 双级真空泵
- 氦质谱检漏仪
- 水环式真空泵
- 分子泵
- 真空泵叶片
- 真空泵滤芯
- 真空泵油
- 里其乐真空泵维修
- 爱发科真空泵维修
- 莱宝真空泵维修
- 贝克真空泵维修
- 普旭真空维修
- 意大利PVR真空泵维修
- 爱德华真空泵维修
- 安捷伦真空泵维修
- 中科科仪分子泵维修
- 进口分子泵维修
- 冷冻式干燥机维修
- 滑阀式真空泵维修
- 隔膜泵维修
- 电机维修
- 新分类
- 真空泵配件
- 国产真空泵维修保养
- 上海久信JOYSUN真空泵维修
- 英福康氦气检漏仪维修保养
- 干式无油抽气泵维修
- 泵组维修
- 卓捷直联旋片式真空维修
- 太星单级旋片真空泵维修
- 上海万经真空泵维修
- 荏原水冷干式真空泵维修
- 爱德华配件
- 里奇乐配件
- 空压机
- 真空泵系统
- 3D打印服务
- 推荐产品
- 罗茨泵
- 涡旋泵
