普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 2303M 全磁浮涡轮分子泵

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关键词： ATH2303M 磁悬浮分子泵

摘要

普发真空 ATH 2303M 五轴全磁浮涡轮分子泵，无接触磁悬浮轴承零磨损免维护，无油洁净无油污污染。超大氮气抽速，极限真空优异，振动噪音，支持任意角度安装。内置断电转子保护，抗气流冲击，搭配一体化驱动模块，通讯操控便捷。适配半导体镀膜、科研超高真空腔体，长期连续运行稳定可靠，大幅降低设备运维成本。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 2303M 全磁浮涡轮分子泵，配备集成式控制器，采用全磁浮技术，具备高真空抽气能力，适用于科研、半导体、分析仪器等对高真空环境要求严苛的领域，是真空技术领域的重要设备之一。

ATH2303M 磁悬浮分子泵

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 2303M 全磁浮涡轮分子泵的抽速 - 入口压力特性曲线（分气体种类）。

该曲线展示了该涡轮分子泵对 N₂、He、H₂、Ar 四种气体，在不同入口压力（单位 hPa）下的抽速（单位 l/s）变化规律，是体现其对不同气体抽气能力的核心性能曲线，为真空系统设计与应用提供关键技术参考。

ATH2303M 磁悬浮分子泵

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 2303M 全磁浮涡轮分子泵的气体流量 - 入口压力特性曲线，展示了该泵在不同入口压力（单位 mbar）下的气体流量（单位 sccm）变化规律，是表征其气体处理能力的关键性能曲线，为真空系统应用提供技术参考。

ATH2303M 磁悬浮分子泵

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 2303M 全磁浮涡轮分子泵的尺寸图纸，属于真空设备技术规格类图纸。图纸标注了进气口（Inlet）、排气口（Outlet，DN 40 ISO KF 接口）、水路接口（Water）、吹扫接口（Purge）、电气连接口（Electrical connection）及外观尺寸（如 Ø312 等参数），是该泵在真空系统安装、集成和维护的关键参考依据，适用于科研、半导体等需高真空环境的领域。

ATH2303M 磁悬浮分子泵

五轴磁悬浮涡轮泵搭载 Holweck 级，氮气抽速达 2150l/s，进气法兰 DN250 CF-F，配套 OBC V4 集成驱动。支持任意方位安装，配备水冷散热无温升，可远程操控，运行洁净稳定。整机通过 CE 认证且符合 RoHS 标准，无油免维护，适配半导体、科研超高真空设备，长期连续作业可靠性强。

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