普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 1603M 全磁浮涡轮分子泵

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关键词：全磁浮涡轮分子泵

摘要

 普发 ATH 1603M 全磁浮涡轮分子泵
德国普发 ATH 1603M 五轴全磁浮分子泵，无机械轴承零磨损近乎免维护，氮气抽速 1400L/s，极限真空低于 6×10⁻⁹mbar，轻重气体抽气性能优异。整机低震低噪，洁净无油无颗粒污染，支持多角度安装、水冷散热与远程调控，通量大适配各类前级泵，稳定适配半导体刻蚀、光学镀膜、科研超高真空腔体等高精密真空工艺。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 1603M 全磁浮涡轮分子泵。它采用全磁浮技术，具备高真空抽气能力，由德国普发真空公司研发生产，适用于科研、半导体、分析仪器等对高真空环境有需求的领域，是真空技术领域的重要设备之一。

全磁浮涡轮分子泵

涡轮分子泵的抽速 - 入口压力特性曲线（分气体种类），展示了该涡轮分子泵对 N₂、He、H₂、Ar 四种气体，在不同入口压力（单位 hPa）下的抽速（单位 l/s）变化规律，是体现涡轮分子泵对不同气体抽气能力的核心性能曲线，为真空系统设计与应用提供关键技术参考。

全磁浮涡轮分子泵

涡轮分子泵的气体流量 - 入口压力特性曲线，也可称为涡轮分子泵的气体通量特性曲线。

该曲线展示了涡轮分子泵在不同入口压力（单位 mbar）下的气体流量（单位 sccm）变化规律，是表征涡轮分子泵气体处理能力的关键性能曲线之一，用于体现泵在不同压力工况下的气体通量表现，属于真空技术领域中涡轮分子泵性能表征的典型图表。

全磁浮涡轮分子泵

涡轮分子泵的尺寸图纸，属于真空设备的技术规格类图纸。

图纸标注了设备的进出气口（Inlet、Outlet DN 40 ISO-KF）、水路接口（Water Inlet/Outlet）、电气连接口（Electrical connection）、吹扫接口（Purge）以及外观尺寸（如直径、长度等参数），是涡轮分子泵在真空系统中安装、集成和维护的关键参考依据，常用于科研、半导体、真空镀膜等需要高真空环境的领域。

全磁浮涡轮分子泵