FF/FFD 系列复合分子泵
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CBVAC 品牌分子泵
摘要
FF/FFD 系列复合分子泵分为油润滑 FF 与无油 FFD 两大品类，规格从 100 至 400 全型号覆盖，抽速 300-5000L/s。金属密封可达 5×10⁻⁷Pa 超高真空，水冷控温运行稳定，FFD 无油款适配洁净工况。标配 ISO/CF 标准法兰，广泛配套镀膜、半导体、实验室真空腔体，可按需搭配前级泵组成真空机组。
产品介绍
FF/FFD 系列复合分子泵，包含 FF160/800、FF200/1400、FF250/2000 多款规格，全不锈钢机身。FF 型为普通油润滑款，FFD 型全干式无油设计，抽气速率跨度齐全。极限真空高、运转平稳，适配镀膜设备、科研腔体、半导体真空系统，可配套前级真空泵组成高真空机组，现货多型号可选。
FFD、MDP 系列复合分子泵参数表，涵盖 FFD100/300 至 FFD250/2000、MDP600/1200/1800 多款机型，抽速 300~2000L/s。分油润滑与无油两种款式，极限真空可达 10⁻⁸Pa，转速 24000r/min，支持水冷 / 风冷。适配镀膜、科研、半导体等高真空场景，接口兼容 ISO/CF 标准法兰，选型数据齐全。
FF/FFD320、350、400 系列大型复合分子泵参数表，抽气速率覆盖 3200~5000L/s，分普通油润滑 FF 与无油 FFD 两款。极限真空最高可达 5×10⁻⁷Pa，转速区间 18000~24000r/min，全系水冷散热，FFD 型号支持任意角度安装，适配镀膜、工业炉、大型科研高真空腔体配套。
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