COBRA DS 0600 E 是普发真空（Pfeiffer Vacuum）的一款干式螺杆真空泵
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摘要
普发真空 COBRA DS 0600 E 干式螺杆真空泵，专为半导体等高要求工艺打造。无油设计提供清洁真空，抽速 600m³/h、极限真空 0.01mbar。间接水冷散热，低维护、长寿命Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions。紧凑型结构易安装，适配 CVD、ALD、PECVD 等制程。
产品介绍
COBRA DS 0600 E 是普发真空（Pfeiffer Vacuum）的一款干式螺杆真空泵
普发真空（Pfeiffer Vacuum）DS 0600 E 真空泵的抽气速率 - 压力特性曲线图表。 图表中横坐标 “p” 代表压力，单位是 hPa（mbar），纵坐标 “Ṽ ” 代表抽气速率，单位是m 3 /h
展示了该型号真空泵在不同压力下对应的抽气速率情况。
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