干式螺杆真空泵的三种典型双螺杆转子

上一条： COBRA DS 0600 E 是普发真空（Pfeiffer Vacuum）旗下的干式螺杆真空泵

下一条： COBRA DS 0600 E 是普发真空（Pfeiffer Vacuum）的一款干式螺杆真空泵

关键词：干式螺杆泵核心部件

摘要

干式螺杆真空泵核心转子，涵盖等螺距、变螺距、变截面（锥形）三种典型结构。不同螺距 / 截面设计，适配不同压缩需求：等螺距结构稳定、维护便捷；变螺距 / 锥形可实现分级压缩，降低温升能耗，提升极限真空性能，满足半导体、化工、制药等高洁净工业真空工况。

干式螺杆真空泵的三种典型双螺杆转子，从左到右分别为：等螺距、变截面（锥形）、变螺距转子。它们是干泵的核心部件，通过不同的螺距 / 截面设计实现气体压缩，决定泵的能耗、温升与极限真空性能。

干式螺杆泵核心部件

干式螺杆真空泵的两种冷却方式原理图：左为直接冷却（端盖冷却），右为转子内部冷却（中空转子冷却）。前者结构简单、成本低；后者冷却效率高，能降低泵体温升，适合高负荷、长时间运行工况。

干式螺杆泵核心部件

干式螺杆真空泵的气体输送与压缩原理图。双螺杆转子同步反向旋转，形成密封腔室，气体从入口被吸入，沿轴向被螺杆螺旋推进，腔室容积逐渐缩小实现压缩，最终从出口排出，全程无油接触，保证气体洁净。

干式螺杆泵核心部件

变螺距干式螺杆真空泵转子，是干泵的核心部件。转子螺距从进气端到排气端逐渐缩小，可实现气体分级压缩，降低温升与能耗，提升极限真空性能，广泛用于半导体、化工等高洁净工业真空场景。

干式螺杆泵核心部件

三种干式真空泵的抽速 - 压力特性对比图，横轴为压力，纵轴为抽速。单级螺杆泵在宽压力区间抽速稳定，表现；多级罗茨 + 爪式、多级罗茨泵则在中低压段抽速有明显波动，直观体现了螺杆泵的性能优势。

干式螺杆泵核心部件

干式螺杆真空泵的内部结构剖视图。标注了变螺距螺杆转子、泵体、同步齿轮、机械密封、轴承等核心部件，直观呈现了气体吸入、压缩与输送的内部结构，以及无油设计的密封与传动系统。

干式螺杆泵核心部件

联系我们

干式螺杆泵核心部件

黄先生15880223078微信同号

QQ：416643690

邮箱：mike@xiamenbest.com

公司网址：www. xmtaixing.com

欢迎随时联系我们，我们将竭诚为您服务！