Edwards 爱德华 IXH 系列干式真空泵（型号为 IXH450H/IXH 系列干泵）
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摘要
Edwards 爱德华 IXH450H 系列干式真空泵，采用无油干式结构设计，真空洁净无油污污染。抽气速率强劲、极限真空表现优异，可耐受粉尘与腐蚀性气体，运行平稳低耗。适配半导体、光伏、真空镀膜及科研严苛制程，整机耐用易维护，适配连续工况运行，是工业高真空系统理想前级配套设备。
产品介绍
Edwards 爱德华 IXH 系列干式真空泵（型号为 IXH450H/IXH 系列干泵），专为半导体、光伏等工艺打造，无油设计适配严苛制程，抽速强劲、运行稳定，可应对粉尘与腐蚀性气体工况，是高真空制程中可靠的干式真空设备。
半导体工艺用废气燃烧洗涤器（热式焚烧尾气处理装置），专为半导体 / 光伏制程设计。通过燃烧分解有害工艺气体，再经高表面积湿式洗涤去除副产物，最终排出脱毒气体，实现有毒废气无害化处理，是真空工艺系统的安全环保配套设备。
半导体 / 高真空工艺系统真空机组原理图，完整展示了工艺处理腔、涡轮分子泵、干式真空泵、前级管路及尾气处理设备的真空系统流程。分子泵负责获得高真空，干泵作为前级提供粗抽，尾气处理保障工艺气体安全排放，是真空制程的典型真空系统架构。
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