普发真空(Pfeiffer Vacuum)A100L 干式真空泵

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关键词: 干式真空泵

摘要

德国普发真空(Pfeiffer Vacuum)A100L 干式多级罗茨泵,原装进口品质。抽速 100m³/h、极限真空达6.6×10⁻³mbar,无油洁净、低噪低振Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions。结构紧凑易集成,适配半导体、光伏、分析仪器等洁净制程。智能监控、可选 RS485 接口,ES 版节能降耗 50%。稳定可靠、维护简便,是真空系统的干泵。

产品介绍

普发真空Pfeiffer VacuumA100L 干式真空泵,属于无油多级罗茨泵,具备洁净抽气、低维护的特点,广泛应用于半导体、光伏、工业分析等领域,用于创建和维持真空环境。


干式真空泵


普发真空(Pfeiffer Vacuum)A100L 干式真空泵的抽速曲线,用于呈现该泵在 50Hz 工作频率下,抽气速率(纵轴,单位 m³/h)随入口压力(横轴,单位 hPa)的变化规律,是评估其真空性能的关键图表之一。


干式真空泵



普发真空(Pfeiffer Vacuum)A100L 干式真空泵的抽气时间 - 入口压力曲线,展示了在 50Hz 工况下,对 1000 升容积的腔室抽气时,入口压力(纵轴,单位 hPa)随时间(横轴,单位 sec)的变化关系,用于体现该泵的抽气效率和真空建立过程。


干式真空泵


普发真空(Pfeiffer Vacuum)A100L 干式真空泵的尺寸图纸,标注了该泵的进气口(Inlet DN 50)、出气口(Outlet DN 25)、压缩空气或氮气接口(CDA or N₂ connection)等关键部件的位置及整体的长、宽、高尺寸参数,用于指导设备的安装、适配等工程应用场景。


干式真空泵

干式真空泵


真空设备吸气量达100m³/h,高流量抽气效率出众。搭载节能模块,可降低50%耗电量,长期运行更省成本。适配200–230V AC低电压电源,兼容RS-232/485通讯接口,搭配19 针 + 15V 供电接口,连接稳定、扩展性强。智能便捷、适配性广,满足半导体、镀膜、科研等多场景真空需求。

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