德国 Busch（普旭）Cobra 系列干式螺杆真空泵
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摘要
德国 Busch（普旭）Cobra 系列干式螺杆真空泵，原装德国精工，无油干式设计，提供洁净真空环境。螺杆配防腐涂层，集成罗茨泵，抽气效率高、氢气通量大。适配半导体、太阳能、显示面板及化工严苛工艺。整机结构紧凑、振动低，维保周期长、运行成本低，稳定耐用，是工业真空。
产品介绍
德国 Busch（普旭）Cobra 系列干式螺杆真空泵，以无油干式设计实现洁净真空，低噪、维护便捷。自带滚轮与控制面板，移动与操作灵活，广泛适配半导体、工业制程等高洁净要求场景，是可靠的工业真空设备。
本款真空泵搭载螺杆结构，集成罗茨泵机组，运行性能优异。适配太阳能、平板显示、半导体领域，可满足刻蚀、化学气相沉积等高温严苛工艺。螺杆配备 tantal 涂层，粉末处理能力强。整机低能耗、氢气通量大，维保周期长、使用成本低。密闭紧凑机身搭配直联罐装电机，一体式底座安装，振动低、运行稳定可靠。
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