普发真空（Pfeiffer Vacuum）A100L 干式真空泵

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关键词：干式真空泵

摘要

厦门太星供应普发真空 A100L 多级罗茨干式真空泵，100m³/h 抽速，无油洁净真空，结构紧凑可堆叠，低噪音低振动。搭载 RS232/485 与 16 针 I/O 通讯接口，集成监测，便于系统集成。可靠性高，维护成本低，适配半导体锁腔、传送腔、真空镀膜、科研设备，是洁净工艺理想干式主泵。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）A100L 干式真空泵，属于无油多级罗茨泵，具备洁净抽气、低维护的特点，广泛应用于半导体、光伏、工业分析等领域，用于创建和维持真空环境。

干式真空泵

普发真空（Pfeiffer Vacuum）某型号干式真空泵的抽速曲线，用于呈现该泵在 50Hz 工作频率下，抽气速率（纵轴，单位 m³/h）随入口压力（横轴，单位 hPa）的变化规律，是评估其真空性能的关键图表之一。

干式真空泵

普发真空（Pfeiffer Vacuum）某型号干式真空泵的抽气时间 - 入口压力曲线，展示了在 50Hz 工况下，对 1000 升容积的腔室抽气时，入口压力（纵轴，单位 hPa）随时间（横轴，单位 sec）的变化关系，用于体现该泵的抽气效率和真空建立过程。

干式真空泵

普发真空（Pfeiffer Vacuum）某型号干式真空泵的尺寸图纸，标注了该泵的进气口（Inlet DN 50）、出气口（Outlet DN 25）等关键部件的位置及整体的长、宽、高尺寸参数，用于指导设备的安装、适配等工程应用场景。

干式真空泵

厦门太星供应普发真空 A100L 多级罗茨干式真空泵，抽速 100m³/h 高流量，380‑400V AC 高压供电，配置带 + 15V 供电的 19 针接口。无油洁净真空，结构紧凑，低噪低振动，便于系统远程集成控制。运行稳定、维护成本低，适配半导体锁腔、真空镀膜、科研真空设备，是中真空洁净工艺可靠干式主泵。

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