EBARA 荏原 ESA 系列干式真空泵
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荏原EBARA ESR100CN干泵维修
摘要
EBARA 荏原 ESA 系列干式真空泵，专为半导体、镀膜等高洁净工艺打造。无油设计污染，极限真空低至 0.5Pa，抽速，耐腐蚀性强，运行稳定低噪。紧凑耐用，适配严苛工业场景，是构建高洁净真空环境的可靠之选。
产品介绍
EBARA 荏原 ESA 系列干式真空泵，为半导体工艺设计，极限真空度达 0.5Pa，抽速最高 80000L/min。耐腐蚀、低功耗、低噪音，广泛应用于半导体制造、镀膜等工业场景，是高洁净真空环境的核心设备。
ESA型 在 LCD 溅镀、真空干燥、大型 load-lock 等需要高速抽气的场景表现出色。具备流量自适应转速调整、通信功能等额外功能。
● 适用于大型真空腔室的高速抽气场景；
● 搭载转速自动控制功能（自适应泵的负荷）；
● 可满足有机溶剂要求的可选配件；
● 搭载高性能通信功能；
● 先进的控制管理方式（数据保存功能、警报履历备份）。
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