普发真空（Pfeiffer Vacuum）A100L 干式真空泵
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摘要
德国普发 A100L 多级罗茨干式真空泵，100m³/h 稳定抽速，无油洁净无返油污染，适配半导体锁仓、光伏镀膜、分子泵前级工况。机身紧凑可堆叠安装，水冷降噪低震，节能款功耗直降 50%。搭载三色状态指示灯，可选 RS485 通讯远程监控，MTBF 超 195000 小时，长期免频繁维保，符合 SEMI 洁净标准，即插即用易集成，大幅缩减产线运维成本，无尘车间专用高品质干泵。
产品介绍
普发真空（Pfeiffer Vacuum）A100L 干式真空泵，属于多级罗茨泵类型，是专为洁净制程设计的紧凑型无油泵，广泛应用于半导体、光伏、工业及分析仪等领域。
普发真空（Pfeiffer Vacuum）A100L 干式真空泵的抽速曲线，用于展示该泵在 50Hz 工况下，抽气速率（纵轴，单位 m³/h）随入口压力（横轴，单位 hPa）的变化关系。
普发真空（Pfeiffer Vacuum）A100L 干式真空泵的抽气时间 - 入口压力曲线，展示了在 50Hz 工况下，对 1000 升容积的腔室进行抽气时，入口压力（纵轴，单位 hPa）随时间（横轴，单位 sec）的变化关系。
普发真空（Pfeiffer Vacuum）A100L 干式真空泵的尺寸图纸，用于展示该泵的外观尺寸参数，包括进气口（Inlet DN 50）、出气口（Outlet DN 25）的规格以及整体的长、宽、高等尺寸数据，为设备的安装、适配等场景提供尺寸参考。
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