普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 4606M 磁悬浮涡轮分子泵

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关键词： ATH 4606M 磁悬浮涡轮分子泵

摘要

普发 ATH 4606M 搭载 5 轴主动磁浮技术 + 阻力级设计，氮气抽速达 4500 l/s，极限压强低至 10⁻⁹ mbar。9 分钟全速启动，无摩擦免维护且支持任意方向安装，集成电子驱动单元操作便捷。通过 CE/RoHS 认证，无油洁净设计适配腐蚀性工况，低噪低振更稳定。是半导体制造、真空镀膜及科研的，原厂品质保障，现货速发助力生产。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 4606M 磁悬浮涡轮分子泵。

它属于涡轮分子泵品类，采用磁悬浮轴承技术，具有高抽速、低振动、免维护的特点，可实现超高真空环境，广泛应用于半导体制造、科学研究等对真空度要求极高的领域。

ATH 4606M 磁悬浮涡轮分子泵

普发真空 ATH 4506 涡轮分子泵的抽速曲线。

图中展示了该泵对不同气体（N₂、Ar、He、H₂）在不同入口压力（p，单位 hPa）下的抽速（l/s）变化关系，是体现其抽气能力随压力和气体种类变化的核心性能曲线之一。

ATH 4606M 磁悬浮涡轮分子泵

涡轮分子泵的外形尺寸图纸。

图中展示了该泵的两个不同视角的轮廓与尺寸标注（包括直径 “Ø” 和长度 “T” 等参数），用于指导泵的安装、适配设备腔体的空间布局等工程应用场景，属于真空设备（涡轮分子泵）的机械设计图纸范畴。

ATH 4606M 磁悬浮涡轮分子泵

带阻力级的 5 轴磁悬浮涡轮泵，氮气抽速高达 4500 l/s，抽气效率。采用 5 轴主动磁浮技术无摩擦运行，搭配阻力级强化压缩比，无油洁净设计污染。集成电子驱动单元精简安装，支持任意方向部署适配复杂场景。通过 CE 认证并完全符合 RoHS 标准，低噪低耗免维护，适配半导体制造、真空镀膜、科研等场景，现货速发保障稳定生产。

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ATH 4606M 磁悬浮涡轮分子泵