安捷伦复合离子泵 CombiNEG

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关键词：安捷伦复合离子泵

摘要

安捷伦 CombiNEG 复合离子泵是超高 / 极高真空场景的设备，集成非蒸散型吸气剂泵芯与 Starcell 离子泵单元。对氢气抽速达 400L/s，同时处理氩气、氦气等惰性气体，极限真空 < 1×10⁻¹¹mbar。无活动部件设计实现无振动运行，低磁场 + 低漏电流减少系统干扰，紧凑结构搭配多规格法兰与馈通件，适配半导体、材料科研等需求，8 万小时长寿命更省心。

产品介绍

安捷伦复合离子泵 CombiNEG

安捷伦复合离子泵

安捷伦 CombiNEG 复合离子泵特性：

抽气性能：对氢气抽速达 400L/s，兼顾氩气、氦气等惰性气体，极限真空＜1×10⁻¹¹mbar，满足超高 / 极高真空需求。

结构设计：无活动部件，运行无振动；低磁场、低漏电流，减少系统干扰。

适配性：紧凑结构，支持多规格法兰与馈通件，适配半导体、材料科研等多场景。

寿命与维护：寿命长达 8 万小时，免维护设计，使用省心。

规格及型号说明

泵的外形图

对氮气的抽速曲线

安捷伦复合离子泵

吸气剂泵芯组件

主泵组件剖视图

安捷伦复合离子泵

安捷伦 VacIon Plus 系列离子泵

CombINiEG 泵的外形图

安捷伦复合离子泵

CombINiEG 泵的核心组件

安捷伦复合离子泵

CapaciTorr D 1000 吸附抽速曲线。

它展示了 CapaciTorr D 1000 型号的真空组件在不同吸附量（Sorbed Quantity，单位 Torr・L）下，对氢气（H₂）、氮气（N₂）、一氧化碳（CO）的抽速（Pumping Speed，单位 L/s）表现，测试遵循 ASTM F798-97 标准，还标注了吸附温度、激活条件、吸附压力等关键参数，是该型号组件真空性能的核心技术图谱。

安捷伦复合离子泵