普发涡旋干泵 HiScroll 18
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摘要
普发 HiScroll 18 涡旋干泵,无油洁净设计污染,18 m³/h 抽速搭配 <1×10⁻³ mbar 极限真空,快速建立稳定真空环境。运行噪音低至 52 dB (A),节能电机 + 紧凑结构适配多场景安装。免维护周期长、抗粉尘能力强,广泛应用于分析仪器、半导体封装等领域,是高效可靠的无油真空解决方案。
产品介绍
普发涡旋干泵 HiScroll 18
普发 HiScroll 系列干式涡旋泵,由德国普发真空(Pfeiffer Vacuum)公司研发生产。它属于无油干式真空泵,采用涡旋泵技术,具有低噪音、无油污染、智能化控制等特点,常用于半导体、分析仪器、科研等对真空环境洁净度要求较高的领域,可作为涡轮分子泵的前级泵,为高真空系统提供基础真空条件。

普发涡旋干泵 HiScroll 18
无油洁净,适配高要求场景:采用全干式无油结构,碳氢化合物污染,还符合 SEMI S2、SEMI S8 标准,适配半导体等对洁净度要求严苛的场景,其整体泄漏率低至 5×10⁻⁷ Pa・m³/s,真空环境稳定可靠。
低噪低振,运行体验佳:运行噪音按标准测试≤47 dB (A),且振动极小,再加上紧凑的机身设计,即便在实验室等对环境噪音和振动敏感的场所使用,也能保持良好环境状态。
节能,运维成本低:驱动系统效率提升 15%,发热少且冷却需求低,能耗更优;同时具备超长维护间隔,搭配短维护耗时的设计,大幅降低了长期运行与维护成本。
适配性强,操控便捷:支持 100 - 240V 多电压标准,适配不同地区用电环境;配备 RS - 485 接口,可与涡轮分子泵等智能设备联动,契合工业 4.0 需求;还可选装自动或手动气镇功能,应对不同气体处理需求。
性能稳定,工况适配广:抽速达 18.1m³/h,极限真空可达 6×10⁻³ mbar,能快速建立稳定真空环境;进气压力适应范围广,且带有内部电机保护功能,可在 5 - 40℃环境、最高 2500 米海拔等多种工况下稳定运行。
普发 HiScroll 18 涡旋干泵的技术参数可从真空性能、物理与电气、运行环境等核心维度分类,具体参数如下
真空性能

生物与电气规格

运行相关叁数

Hiscrol 18外形尺寸和性能曲线

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