普发涡旋干泵 HiScroll 12
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摘要
普发 HiScroll 12 涡旋干泵，是无油真空解决方案核心设备，适配半导体、实验室等场景，无油污染、低噪音，抽速且运维便捷，轻松实现清洁真空环境，是精密真空应用的环保可靠之选。
产品介绍
普发涡旋干泵 HiScroll 12
普发 HiScroll 系列干式涡旋泵，由德国普发真空（Pfeiffer Vacuum）公司研发生产。它属于无油干式真空泵，采用涡旋泵技术，具有低噪音、无油污染、智能化控制等特点，常用于半导体、分析仪器、科研等对真空环境洁净度要求较高的领域，可作为涡轮分子泵的前级泵，为高真空系统提供基础真空条件。
洁净无污，适配敏感场景：采用完全无油干式运行设计，不会产生碳氢化合物污染，搭配气密式密封系统，能保障真空环境洁净。且内置两级气镇装置，可抽取水、溶剂等可凝性蒸汽，适配半导体、质谱分析等对污染零容忍的工艺。
低噪低振，适配安静环境：运行噪音仅 47dB (A)，振动幅度极小，再加上紧凑的机身设计，不会对周边环境造成干扰，特别适合实验室、研发机构等对工作环境安静度要求高的场所。
节能，运维成本低：搭载专利 IPM 同步电机，驱动效率比传统电机高出 15%，产热更少，冷却需求也随之降低。经超 15500 小时耐力测试，配件损耗小，维护间隔长且耗时短，能显著降低长期运营成本。
智能互联，适配工业 4.0：支持 RS - 485 或 ProfiNet 接口，可轻松与普发涡轮分子泵等设备互联协同。可选装压力传感器，实现转速自动调节和性能监控，待机模式还能将转速降至全速的 50%，延长部件使用寿命。
安全可靠，运行有保障：内置止回阀与安全阀，停机时可防止气体回流，避免污染真空腔体和工艺环节。同时具备 ATEX 认证，能安全处理氢气等易燃气体，适配多种复杂工况下的安全运行需求。
抽气性能
抽速达 12.1m³/h；气镇 1 级流量 18L/min，气镇 2 级流量 30L/min。
无气镇时极限真空度可达 6×10⁻³hPa，气镇 1 级极限真空度 5×10⁻²hPa，气镇 2 级为 4×10⁻¹hPa；整体漏率 5×10⁻⁷Pa・m³/s。
最大进气压力 1100hPa，最大排气压力 1500hPa。
电气规格
适配电压 100 - 127V/200 - 240V 交流（允许 ±10% 波动），适配 50/60Hz 频率。
额定电流在 100 - 127V 时为 8A，200 - 240V 时为 4A，最大电流 8A；功耗范围 210 - 280W，搭载 IPM 同步电机。
配备 RS - 485 接口，支持远程控制与设备互联。
物理与运行特性
机身尺寸 419×265×304mm，重量 24kg；进出口均采用 DN25 ISO - KF 连接法兰。
额定转速 1560rpm，转速调节范围 624 - 1870rpm；运行噪音仅 47dB (A)，防护等级 IP40。
采用强制对流风冷方式，适配 5 - 40℃的工作环境，最大运行海拔 2500m。
认证与其他
拥有 ATEX、SEMI S2/S8、cTUVus 等多项认证，适配多种严苛工况；内置两级气镇装置与止回阀，保障运行安全。
Hiscrol 12 外形尺寸和性能曲线
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