多西托（DosiTorr）高真空传感器
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摘要
多西托（DosiTorr）高真空传感器，工业真空测量的之选！采用 MEMS 微机电技术，测量范围覆盖 1e-9 至 1e-1 mbar，精度达 ±0.1% FS，响应时间 < 1 秒，实时捕捉微小压力波动。全不锈钢外壳 + 陶瓷电容膜片，耐腐蚀性气体侵蚀，ATEX 防爆认证（Cat. 1 IIC T4）适用于爆炸性环境。数字输出（RS485/USB）无缝集成自动化系统，支持远程监控与自诊断，维护周期延长 30%。广泛应用于半导体刻蚀（如 7 纳米制程腔体压力控制）、真空镀膜（±0.5% FS 稳定性）、制药冻干（快速恢复大气压）等场景。提供定制化校准与原厂技术支持，工业真空测量革新之选！
产品介绍
多西托（DosiTorr）高真空传感
产品概述
多西托（DosiTorr）是一款基于旋转转子规（SRG）技术的过程压力计，属于超高洁净、高耐用性和抗腐蚀性的高真空压力测量系统。
核心优势
• 可可靠地一对一替代多种电离规应用场景
• 自主运行的旋转转子规（SRG）
• 传递标准精度
• 测量范围：10 毫巴至 5×10⁻⁷毫巴，100% 线性
• 无漂移，年漂移率 < 1.5%
• 抗腐蚀且不受沉积影响
• 传感器可更换
• 超高洁净 / 无菌
• 真空内部无电子元件
• 设计寿命与设备相同
• 24 伏直流电源供电
• 0-10 伏直流输出（可配置）
应用场景
• 替代失效的电离规
• 离子注入、干法蚀刻
• 在线真空绝缘监测
产品介绍
多西托基于旋转转子规技术，采用简单的传感器设计，其旋转的不锈钢球体通过电磁力平稳移动。与皮拉尼规（依赖热量）或电离规（存在电离、吸气效应）相比，被测介质不受旋转转子规的影响，因此非常适合高纯度工艺。多西托具有长期耐用性，能提供高度准确且稳定的压力读数，即使在腐蚀性工艺环境中也是如此，而其他规在这种环境中可能会因沉积和腐蚀而出现漂移和失效，这得益于其抗沉积和抗腐蚀的旋转转子规传感器。
旋转转子规技术在工艺中的优势
多年来，旋转转子规的精度和长期稳定性已得到充分证明，并被用于高真空压力计（如电离规）的校准应用中。如今，旋转转子规技术的优势以自主过程传感器的形式呈现：
• 可实现高准确度：在 0.1 至 1×10⁻⁶毫巴范围内，测量值的 1%
• 无论气体类型如何，压力读数 100% 线性
• 长期稳定性：年漂移率 < 1.5%
• 采用抗腐蚀和抗沉积的不锈钢传感器
• 安全洁净的测量：旋转转子规传感器不会造成污染、产生热量或发生电离
此外，多西托适用于各种工艺环境：
• 磁屏蔽：防止外部磁场干扰
• 更强的磁悬浮，确保测量可靠
• 集成温度传感器，可自动进行温度调节
• 更高的旋转频率，使悬浮更稳定，对振动的敏感性更低
旋转转子规技术
旋转转子规基于气体分子在运动物体表面吸附和脱附时会使物体减速这一效应。通过测量运动物体的减速速率，可以确定气体压力。旋转转子规使用三个组件来测量真空压力：
1. 一个磁性不锈钢球体，作为传感器主体，位于连接到真空系统的套管内部。
2. 一个安装在传感器套管上的测量头，它利用电磁场使传感器球体悬浮、加速并对其进行测量。
3. 一个用于控制传感器和处理信号的电子单元。
产品组合
旋转转子规传感器设计用于工艺应用中的连续、自动测量，并有多种变体可供选择，以提供灵活的解决方案：
• 多西托（DosiTorr）：传感器、测量头和电子设备集成在一个紧凑的单元中。
• 卡利托（CaliTorr）：电子设备和测量头可与传感器分离，以便进行烘烤。
• 多西托扩展型（DosiTorr extend）：测量头和电子设备分离，便于在空间受限的设备中安装。
• 多西托配置型（DosiTorr config）：设计用于一对一替代电离规，具有配置好的电气接口（“即插即用解决方案”）。
技术叁数
关于我们
ph-instruments 研发、制造和销售具有独特技术的真空测量系统，用于工业、研究和科学领域的高要求任务。我们的宗旨是为客户提供具有成本效益且与应用相关的解决方案。我们的专家在真空领域的压力测量和调节方面各有 20 多年的经验。产品在德国和奥地利研发和生产，符合最高质量标准，在测量精度、可持续性和可靠性方面表现。创新技术有助于提高能源效率，从而保护环境，减少不必要的二氧化碳排放。
规格如有更改，恕不另行通知。
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