DosiTorr SRG 旋转转子真空计
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摘要
DosiTorr SRG 旋转转子真空计系统 ，属于高精度真空测量设备，由电子控制模块、连接线缆及测量单元组成，凭借磁悬浮无灯丝设计，实现宽量程（10⁻² ~ 5×10⁻⁷ mbar）、低漂移（年漂 < 1%）的真空检测，适配半导体、科研等高洁净真空场景 。
产品介绍
DosiTorr SRG 旋转转子真空计
SRG 旋转转子真空计不仅仅定位为传统真空计的替代品, 而是作为确保制造制程中计量完整性的基础技术. 透过提供高度准确和稳定的测量, SRG 旋转转子真空计能够实现更严格的制程控制, 减少变异性, 提高半导体制造, 镀膜, 显示面板, 光伏等高精密应用中的良率和产品质量.
制造中真空测量的挑战: 离子真空计与电容真空计的污染与失真问题 VS 旋转转子真空计 SRG 的稳定测量优势
离子真空计与电容真空计在真空干燥固化 ( Vacuum Dry, VCD) 及半导体离子注入 (Implantation) 制程中, 易受温度, 制程物质污染的影响, 面临被污染和失真等问题, 导致测量值不准确和制程不稳定. 上海伯东代理德国 PH-Instruments 旋转转子真空计(Spinning Rotor Gauge, SRG) 作为更稳定, 更精确且更具抗污染能力的替代方案,旋转转子真空计在严苛的制程环境中能提供的性能, 有效提升制程可靠性和产品良率.
离子真空计的污染与测量失真
a. 灯丝降解与涂层污染: 制程污染物可能会分解并在灯丝或栅极表面形成固体涂层. 这种污染可能导致灯丝烧毁, 发射电流降低, 或抑制离子收集, 从而导致完全故障.
b. 溅射效应: 此现象会使电极材料脱落, 导致读数不一致和不准确, 并污染制程腔体.
c. 反应性腐蚀: 制程气体与传感器材料发生化学反应, 导致传感器随时间腐蚀和分解, 造成不可逆的破坏.
电容真空计易受制程污染物和温度影响
电容式真空计膜片本质上容易受到机械性能的任何物理或化学改变的影响. 温度引起的测量误差, 制程反应性气体与腐蚀, 冷凝与沉积, 颗粒积聚, 皆会直接影响膜片的行为, 进而影响电容测量.
厦门太星SRG 旋转转子真空计高精度测量原理
SRG 旋转转子真空计是一种高精度且稳定的真空测量技术, 核心感测组件是一个小型磁悬浮的钢球, 透过管件连接到真空系统内. 在测量周期中, 这个球由一个可分离的驱动组件加速到精确定义的转速 (每秒数百转).
一旦达到所需速度, 驱动线圈断电, 让球自由旋转, 周围气体分子对球体表面施加的压力 (分子阻力) 会使其减速. 撷取线圈测量这个减速速率, 计算精确压力. 压力较高时, 较高的气体密度导致较大的分子阻力, 减速较快; 而较低的压力导致阻力减小, 减速时间较长. 压力与钢球旋转之减速率成正比.
P = Constant * D
P: 压力; Constant: 常数, 与钢球半径相关; D: 钢球旋转减速率厦门太星SRG 旋转转子真空计性能特点
一 、固有的抗污染性和坚固设计: 德国 PH-Instruments 超过20年设计制造 SRG 经验, 推出全金属传感器设计以及真空内部没有电气穿透件的 DosiTorr 真空计, 对机械应力和腐蚀性介质具有独特的抵抗力. 暴露在真空中的部分是管中的钢球. 这种坚固的设计使其比热灯丝或精细膜片显著不易受污染.
二、高精度和长期稳定性: SRG 旋转转子真空计以其高精度而闻名, 表现出的长期稳定性, 一些报告显示校准系数在 20年内变化小于 0.2%.
下图为初期使用离子真空计 Ion gauge 受到制程气体影响, 压力值失真明显飘移不稳定; 替换为 SRG 旋转转子真空计后, 稳定测量制程真空压力.
上图: 使用离子真空计与旋转转子真空计在同一制程腔体比较趋势, 旋转转子真空计表现稳定的测量
厦门太星SRG 旋转转子真空计为制造中的严苛测量应用提供解决方案
计量和校准标准: 几十年来,SRG 旋转转子真空计一直被计量和校准实验室信赖为真空校准的精密传递标准. 它们提供 NIST 可追溯性, 确保关键应用所需的测量一致性和可靠性. 这种能力使其可以在制程腔体中进行现场使用, 以确保高真空计读数的准确性和制程机台之间的一致性, 从而实现可重复的制程结果与高稼动率.
SRG 旋转转子真空计具有「NIST可追溯性」, 表示其在计量校正上的优越性. 如果 SRG 足够准确和稳定以校准其他高真空计, 那么它本身就具备了更苛刻的直接制程测量所需的质量.SRG 旋转转子真空计不仅仅定位为传统真空计的替代品, 而是作为确保制造制程中计量完整性的基础技术. 透过提供高度准确和稳定的测量, SRG 旋转转子真空计能够实现更严格的制程控制, 减少变异性, 提高半导体制造, 镀膜, 显示面板, 光伏等高精密应用中的良率和产品质量.
DosiTorr SRG 旋转转子真空计 | PH-Instruments
厦门太星代理德国 PH-Instruments DosiTorr是基于旋转转子真空计（SRG）技术的工艺用压力计。其采用不锈钢球体通过电磁力旋转的简约设计，相比皮拉尼规（热传导）或电离规（电离效应），不会对被测介质产生影响，是高纯工艺环境的理想选择。即使在腐蚀性工艺环境中，DosiTorr仍能保持长期稳定的高精度测量，这得益于SRG传感器对沉积和腐蚀的抗性。
DosiTorr
超洁净、高耐用、抗腐蚀的高真空压力测量方案
核心优势：
可直接替换多数电离规（1:1兼容）
自主工作的旋转转子真空计（SRG）
传递标准级精度
测量范围：10 mbar 至 5×10⁻⁷ mbar
100%线性输出
"零"漂移（<1.5%/年）
抗腐蚀与沉积
可更换传感器
超洁净/无菌设计
真空腔内无电子元件
与设备同寿命设计
24VDC供电
0-10VDC可配置输出
典型应用：
故障电离规替换
离子注入、干法蚀刻
在线真空绝缘监测
技术说明
DosiTorr是基于旋转转子真空计（SRG）技术的工艺用压力计。其采用不锈钢球体通过电磁力旋转的简约设计，相比皮拉尼规（热传导）或电离规（电离效应），不会对被测介质产生影响，是高纯工艺环境的理想选择。即使在腐蚀性工艺环境中，DosiTorr仍能保持长期稳定的高精度测量，这得益于SRG传感器对沉积和腐蚀的抗性。
SRG技术工艺优势
SRG技术的高精度和长期稳定性已在真空计校准领域（如电离规校准）得到多年验证。如今，该技术以自主式工艺传感器的形式呈现：
超高精度：0.1 mbar至1×10⁻⁶ mbar范围内达读数±1%
100%线性压力读数（与气体种类无关）
长期稳定性：年漂移率<1.5%
不锈钢传感器抗腐蚀与沉积
安全洁净测量：/无热辐射/无电离效应
增强型工艺适配设计：
磁屏蔽：抗外部磁场干扰
强化磁悬浮系统：提升测量可靠性
集成温度传感器：自动温漂补偿
更高转速：降低振动敏感性
SRG技术原理
旋转转子真空计（SRG）基于气体分子吸附-脱附导致的转子减应，通过测量减速速率计算真空压力。系统包含三大组件：
传感器组件
磁性不锈钢球体（传感器核心）
安装在连接真空系统的套管中
测量头组件
通过电磁场实现悬浮/加速/测量
外置于真空系统
电子控制单元
传感器控制与信号处理
产品系列
为满足不同工艺需求，提供多种配置方案：
型号 特性说明
DosiTorr标准版 传感器、测量头与电子单元一体化紧凑设计
CaliTorr 测量头与电子单元可分离，支持450℃烘烤
DosiTorr扩展版 分体式设计，适用于空间受限设备
DosiTorr配置版 专为电离规替换设计，提供"即插即用"电气接口
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