HiPace 800涡轮分子真空泵
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HiPace 300涡轮分子真空泵
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HiPace 300 P涡轮分子真空泵
摘要
HiPace 800 涡轮分子真空泵，790 l/s 高氮气抽速搭配 < 1×10⁻⁷ hPa 极限真空，压缩比超 1e11，小分子气体处理。复合轴承设计实现 4 年免维护，≤50dB 静音运行，无油污染适配洁净环境。间断模式节能 90%，IP54 防护 + 智能监控，广泛用于半导体、镀膜及质谱分析，是超高真空作业。
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