普发真空（Pfeiffer Vacuum）PCR 380 电容 / 皮拉尼复合真空计

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关键词：电容皮拉尼复合真空计

摘要

普发真空 Pfeiffer Vacuum PCR 380 电容皮拉尼复合真空计

普发 PCR380 复合真空计集成电容与皮拉尼双传感器，测量量程宽广，兼具电容规高精度、皮拉尼规稳定检测优势。信号响应灵敏，抗干扰能力强，气体兼容性好，测量数据可靠。结构紧凑，安装便捷，支持快速接入真空控制系统。广泛应用于半导体、镀膜、真空冶金等工艺，监测腔体压力，保障真空制程稳定，降低设备运维成本。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）PCR 380 电容 / 皮拉尼复合真空计，是一款宽量程真空测量传感器，集成双测量技术，覆盖 5×10⁻⁵至 1500 hPa 压力范围，支持 150℃高温烘烤，适配大口径接口，适用于工业真空系统的高精度压力监测。

电容皮拉尼复合真空计

普发真空（Pfeiffer Vacuum）TPG 256A 系列真空计传感器，是适配 8 VCR female 接口的紧凑型真空测量元件，尺寸为 55×69×44（单位：mm），常用于空间受限的真空系统中，支持中低真空压力监测。

电容皮拉尼复合真空计

普发真空 Pfeiffer Vacuum PCR 380 电容皮拉尼复合真空计（120 字版）

普发 PCR380 复合真空计，测量区间 1・10⁻⁵~0.13hPa（1・10⁻⁵–0.1Torr），精度高达 0.5% 测量值。采用陶瓷传感器，无记忆效应，内置温度补偿，零点稳定性优异。供电 14–30V，0–10V 模拟输出，信号接口兼容 MKS Baratron。出厂附带校准测试报告，适配各类真空设备，安装替换便捷，满足半导体、镀膜精密真空监测需求。

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