HiPace 700 H涡轮分子真空泵
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HiPace 700涡轮分子真空泵
摘要
HiPace 700 H 凭借突破性压缩比、智能能效管理及超长使用寿命，重新定义超高真空性能标准。无论是严苛工业制程还是前沿科研探索，它都能提供洁净、稳定、的真空保障，助力提升产品良率、实验精度与系统可靠性。普发真空技术支持网络，确保设备全生命周期无忧运行。
产品介绍
HiPace 700 H涡轮分子真空泵
技术规格ISO
抽速
市场和应用
分析及实验室
高能物理，超高真空
半导体应用
PVD检验与计量
金属和高 K 蚀刻
LPCVD / 扩散光刻技术
氧化物蚀刻，剥离 / 灰化
ALDPECVDSi Poly etch
Load lock 和 传输轻沉积离子注入
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