COBRA BC 0601–1200 A/G干式螺杆真空泵
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摘要
COBRA BC 0601–1200 A/G 干式螺杆真空泵，可靠的真空解决方案！ 601-1200m³/h 高抽速，极限压力低至 1-2Pa，快速建立稳定真空，满足严苛需求。干式设计无油污染，保障气体纯净，适配高洁净度行业，还环保省成本。 专利自平衡螺杆技术 +“飞行轴承” 设计，运行稳、噪音低，维护少、寿命长。电机直连结构紧凑，安装方便省空间。 广泛用于半导体、平板显示、太阳能电池等精密制造，化工、制药、食品行业也适用。选它，为生产提效添力！
产品介绍
COBRA BC 0601–1200 A/G干式螺杆真空泵
技术规格
ISO 50 HzISO 60 Hz
尺寸图
COBRA BC 0601–1200 A/G
抽速
空气温度为 20°C 时， 公差：± 10%
市场和应用
半导体应用
PVD
金属和高 K 蚀刻
氧化物蚀刻
剥离 / 灰化
钴、WCVD、TiN 和 TDMAT
退火
Si Poly etch
轻沉积
离子注入
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厦门太星机电有限公司，您值得信赖的真空设备解决方案专家！
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