HiPace 800 H涡轮分子真空泵
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HiPace 700 P涡轮分子真空泵
摘要
HiPace 800 H 涡轮分子真空泵抽速强劲，氮气抽速高达 790 l/s ，面对不同气体展现出抽气能力，如氩气抽速达 770 l/s ，氢气为 320 l/s ，氦气则是 595 l/s 。在压缩比上表现，对于氩气、氮气压缩比大于 1×10¹¹ ，氢气达 4×10⁵ ，氦气为 3×10⁷ 。其极限压力低至 1×10⁻⁷ mbar ，能够营造超高真空环境，满足高精度实验与生产需求。
产品介绍
HiPace 800 H涡轮分子真空泵
技术规格ISO
抽速
市场和应用
分析及实验室
高能物理，超高真空
半导体应用
PVD检验与计量
金属和高 K 蚀刻
LPCVD / 扩散光刻技术
氧化物蚀刻，剥离 / 灰化
ALDPECVDSi Poly etch
Load lock 和 传输轻沉积离子注入
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