普发真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace 系列涡轮分子泵

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关键词： HiPace 涡轮分子泵

摘要

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请根据您的个性化需求选择合适的产品变体，以查看相应的产品详情。不同型号在抽速、极限真空、接口规格、轴承类型上存在差异，参数与配套配件各不相同。选型时可结合工况、真空要求、安装尺寸进行匹配，支持查看对应性能参数、外形尺寸及配件清单。如需技术咨询或备件采购，可进一步沟通，获取适配的整机与维修替换配件方案。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace 系列涡轮分子泵，是高真空抽气设备，具备高抽速、紧凑设计的特点，适配半导体、科研实验室等高精度真空制程场景，是真空系统的核心抽气部件之一。

HiPace 涡轮分子泵

普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵的多气体抽速特性曲线，展示 He、H₂、N₂、Ar 四种气体在不同压强下的抽速变化规律：高真空段（<10⁻³hPa）抽速稳定，轻气体（如 H₂）随压强上升衰减更明显，是真空系统选型、匹配气体工况的核心性能参考图。

HiPace 涡轮分子泵

普发真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace 系列涡轮分子泵的安装尺寸图，标注了分子泵的接口规格（DN63 ISO-K 主接口、G1/4" 辅助接口）、安装孔位（M5 螺纹）及外形尺寸，是该分子泵与真空系统集成安装的技术参考图纸。

HiPace 涡轮分子泵

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请根据您的个性化需求选择合适的产品变体，以查看相应的产品详情。不同型号在抽速、极限真空、接口规格、轴承类型上存在差异，参数与配套配件各不相同。选型时可结合工况、真空要求、安装尺寸进行匹配，支持查看对应性能参数、外形尺寸及配件清单。如需技术咨询或备件采购，可进一步沟通，获取适配的整机与维修替换配件方案。

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