低温泵 COOLVAC 10000 iCL
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COOLVAC 10000 iCL 低温泵 莱宝COOLVAC 10000 iCL全自动低温泵，搭载低温捕集技术，可打造无烃超高真空环境，极限真空可达10⁻¹¹mbar级别。设备抽速强劲、气体吸附效率高，配备智能iCL全自动再生系统，无需繁琐人工操作。整机低振动、稳定性强，维护周期长，适配镀膜、科研测试等真空工况，持续输出稳定洁净的真空环境。
产品介绍
莱宝 COOLVAC 10000 iCL 低温泵
莱宝 COOLVAC 10000 iCL 低温泵搭载 COOL.DRIVE 驱动单元，具备超大抽速，输出无油洁净超高真空。大口径进气法兰，水汽抽吸能力突出，内置辐射屏与障板降低热负荷。配有吊环与支撑支架，方便吊装安装，集成阀组支持自动再生泄压。整机运行稳定，耐受杂质强，适配超大型镀膜、半导体大腔体工艺设备，是大工况高真空。
莱宝 COOLVAC 10000 iCL 低温泵侧视尺寸图，单位毫米。进气法兰 DN500 ISO K，法兰外径 Φ550mm，整机总高 751mm，驱动单元横向 314mm。图纸展示泵体、支架吊环与阀组管路布局，便于腔体对接和设备布局规划。自带支架吊环方便吊装，集成阀组支持自动再生，超大抽速无油真空，适配超大型镀膜、半导体大腔体工艺设备。
莱宝 COOLVAC 10000 iCL 低温泵法兰端面尺寸图，单位毫米。俯视 DN500 ISO K 大法兰，内部装配障板组件，吊耳可旋转 30°，吊耳外伸尺寸 300mm。用于腔体开孔校核与安装空间确认，吊耳便于设备吊装就位。超大口径带来极高抽速，整机集成阀组支持自动再生，无油洁净真空，适配超大型镀膜、半导体大腔体工艺。
莱宝 COOLVAC 低温泵依靠一、二级冷头制冷，冷伞低温冷凝捕捉气体，实现无油洁净超高真空。热辐射防护屏搭配障板，降低热负荷，提升抽气效率。安全阀保障再生安全，氦气接口维持制冷循环，高真空法兰对接腔体。冷头电机驱动整套制冷系统，支持自动再生。广泛用于镀膜、半导体大腔体设备，运行稳定，满足严苛高真空工艺使用要求。
莱宝 COOLVAC 制冷机低温泵
厦门太星供应莱宝 COOLVAC 低温泵，分为 iCL 全自动电加热再生、BL 自然再生系列，氮气抽速 1500 60000l/s。标配安全阀与 DN40 KF 排气接口，安全泄压。iCL 实现可控分步排气，规避可燃混合气隐患。支持多泵共用 COOLPAK 压缩机，缩减成本与占地，可定制航天模拟特种泵，适配蒸发、溅射、离子注入、光学镀膜等高真空工艺。
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