真空离子规（真空电离规）真空离子规是超高真空测量核心元件

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关键词：真空离子规

摘要

真空离子规（真空电离规）

真空离子规作为超高真空测量核心元件，依靠气体电离原理检测腔体真空压强，测量可靠。采用全金属不锈钢材质，放气率低，支持高温烘烤，适配严苛超高真空工况。标准法兰结构，安装便捷，出厂完成检漏与校准，抗干扰强，使用寿命。广泛配套科研实验、真空镀膜、半导体真空腔体，实时稳定监测系统真空度。

产品介绍

真空离子规（真空电离规）

真空离子规是超高真空测量核心元件，利用气体电离原理检测真空压强，测量精度稳定。采用全金属不锈钢结构，耐烘烤、放气率低，适配严苛超高真空环境。法兰接口标准化，便于直接装配真空腔体。产品出厂经过检漏与校准，抗干扰能力强，使用寿命长久，广泛应用于科研实验、镀膜设备、半导体真空系统，监测腔体内真空度。

真空离子规

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本款检漏仪配套耗材适配多款主流氦检设备，覆盖 Leybold、INFICON 全系列，兼容 Linxon218、KYKY ZQJ3000、Pfeiffer HTL 系列。选材精密，密封性强，稳定性好，替换安装简便。耗材精度匹配原厂标准，保障检漏仪检测灵敏度，降低漏检概率，延长设备运行周期。适用于真空腔体、真空泵组件检漏场景，是真空设备维保更换配件。

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