普发真空（Pfeiffer Vacuum）CMR 361 陶瓷电容薄膜真空计

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关键词：陶瓷电容薄膜真空计

摘要

普发真空 CMR 361 陶瓷电容薄膜真空计
普发真空 CMR361 陶瓷电容薄膜真空计，采用陶瓷传感元件，测量结果不受气体种类影响，具备优异温度补偿，零点漂移小、无记忆效应，测量精度可达 0.2%。满量程 1000hPa，支持 0-10V 模拟信号输出，可选 DN16 ISO-KF 等多种接口。适配真空镀膜、半导体、工业真空腔体压力监测，稳定性强，附带原厂校准报告，适合高精度工艺压力检测场景。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）CMR 361 陶瓷电容薄膜真空计。

它是普发真空的紧凑型高精度真空测量设备，采用氧化铝陶瓷传感元件，测压不受气体类型影响，量程覆盖 0.1-1100hPa，响应快、漂移小，适配 DN 16 等法兰接口，常用于真空工艺的压力监控，标志性红色外壳是其系列特征之一。

陶瓷电容薄膜真空计

普发真空 CMR 361 陶瓷电容薄膜真空计（DN 16 CF-R 法兰款）。

其技术核心优势：采用 99.5% 氧化铝陶瓷传感元件，测压不受气体类型影响，量程覆盖 0.1-1100hPa，精度达 0.2% 且零漂移极小；30ms 极速响应 + 温补偿，适配 110℃烘烤场景；DN 16 CF-R 法兰安装便捷，体积紧凑仅 3.6cm³，适配真空工艺全流程稳定监控。

陶瓷电容薄膜真空计

普发真空 CMR 361 陶瓷电容薄膜真空计

普发真空 CMR361 陶瓷电容薄膜真空计，测量范围 1×10⁻⁵～0.13 hPa（1×10⁻⁵–0.1 Torr），精度可达 0.5% 测量值。搭载陶瓷工艺传感器，无记忆效应，具备温度补偿与优秀零点稳定性。供电 14–30V，输出 0–10V 信号，接口输出兼容 MKS Baratron，出厂附带校准测试报告，适用于各类高精度真空压力监测场景。

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