普发真空(Pfeiffer Vacuum)CMR 361 陶瓷电容薄膜真空计

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摘要

普发真空 CMR 361 陶瓷电容薄膜真空计
普发真空 CMR361 陶瓷电容薄膜真空计,采用陶瓷传感元件,测量结果不受气体种类影响,具备优异温度补偿,零点漂移小、无记忆效应,测量精度可达 0.2%。满量程 1000hPa,支持 0-10V 模拟信号输出,可选 DN16 ISO-KF 等多种接口。适配真空镀膜、半导体、工业真空腔体压力监测,稳定性强,附带原厂校准报告,适合高精度工艺压力检测场景。

产品介绍

普发真空Pfeiffer VacuumCMR 361 陶瓷电容薄膜真空计

它是普发真空的紧凑型高精度真空测量设备,采用氧化铝陶瓷传感元件,测压不受气体类型影响,量程覆盖 0.1-1100hPa,响应快、漂移小,适配 DN 16 等法兰接口,常用于真空工艺的压力监控,标志性红色外壳是其系列特征之一。


陶瓷电容薄膜真空计


普发真空 CMR 361 陶瓷电容薄膜真空计(DN 16 CF-R 法兰款)。

其技术核心优势:采用 99.5% 氧化铝陶瓷传感元件,测压不受气体类型影响,量程覆盖 0.1-1100hPa,精度达 0.2% 且零漂移极小;30ms 极速响应 + 温补偿,适配 110℃烘烤场景;DN 16 CF-R 法兰安装便捷,体积紧凑仅 3.6cm³,适配真空工艺全流程稳定监控。



陶瓷电容薄膜真空计

陶瓷电容薄膜真空计



普发真空 CMR 361 陶瓷电容薄膜真空计

普发真空 CMR361 陶瓷电容薄膜真空计,测量范围 1×10⁻⁵~0.13 hPa(1×10⁻⁵–0.1 Torr),精度可达 0.5% 测量值。搭载陶瓷工艺传感器,无记忆效应,具备温度补偿与优秀零点稳定性。供电 14–30V,输出 0–10V 信号,接口输出兼容 MKS Baratron,出厂附带校准测试报告,适用于各类高精度真空压力监测场景。



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