荏原 Ebara 干式真空泵维修配件 EV-L200N/EVM/EVS/EVX/ESA
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摘要
本文为荏原（Ebara）EV-L200N / EVM20 / EVM50 / EVS100 / EVX-100 / ESA70-A70W / Ebara 130 / M302NS / ESA25-D 系列干式罗茨真空泵维修配件的完整选型指南，覆盖 24 个物料编码、5 大类配件（X/Y 传动轴、DP 齿轮、上下泵轴毛坯、上下泵轴齿轮、活塞环），适用于 9 款主流机型家族的常规保养与大修。文中系统梳理各机型的料号差异（EV-L200N 的 X 轴 TX110016050 / Y 轴 TX110016051，EVX-100 的 Y 轴 TX110016041 / X 轴 110016042），以及 ESA70 / Ebara 130 / M302NS 的 X/Y 轴总成接口差异。无论您是半导体晶圆厂、FPD 工厂、光伏企业还是真空冶金用户，本文将帮助您精准选型、避免混淆、降低 30%+ 配件成本。
产品介绍
一、产品概述
荏原（Ebara）是日本上市企业，干式真空泵市占率前三。EV-L200N、EVM20、EVM50、EVS100、EVX-100、ESA70-A70W、Ebara 130、M302NS、ESA25-D 是其 9 款主流机型，在半导体、FPD、光伏、真空冶金领域应用广泛。本文档系统整理 24 个核心物料编码，覆盖 5 大类配件。
1.1 9 款机型定位
序号
机型
定位
主要应用
1
EV-L200N
L 系列标准
半导体 + FPD
2
EVM20
EVM 入门
半导体 + 真空冶金
3
EVM50
EVM 中型
半导体 + 真空冶金
4
EVS100
EVS 高真空
半导体 + 光伏
5
EVX-100
EVX
半导体 + 12 寸晶圆
6
ESA70-A70W
ESA 高负载
工业 + 真空冶金
7
Ebara 130
经典大型
真空冶金 + 工业
8
M302NS
特殊型号
化工 + 真空冶金
9
ESA25-D
ESA 小型
实验室 + 工业
1.2 太星支持
· 24 个核心物料编码：X/Y-DP 轴、齿轮组、轴毛坯、轴齿轮、活塞环
· 9 款机型：EV-L/EVM/EVS/EVX/ESA 五大系列
· 现货供应：12 个月保修 + 24h 响应
· 价格优势：原厂价的 50-60%
二、5 大类配件分类
2.1 传动轴总成（X/Y-DP）
物料编码
产品名称
规格型号
TX110016050
X 轴-DP
EV-L200N
TX110016051
Y 轴-DP
EV-L200N
(EVM20 专用)
X 轴-DP
EVM20
(EVM20 专用)
Y 轴-DP
EVM20
(EVM50 专用)
X 轴-DP
EVM50
(EVM50 专用)
Y 轴-DP
EVM50
(EVS100 专用)
Y 轴-DP
EVS100
(EVS100 专用)
X 轴-DP
EVS100
TX110016041
Y 轴-DP
EVX-100
110016042
X 轴-DP
EVX-100
2.2 齿轮组件（MB/DP）
物料名称
规格型号
齿轮组
EVM20
齿轮-MB（BP）
EVS100
齿轮-DP（MP）
EVS100
2.3 X/Y 轴总成（ESA 系列）
物料名称
规格型号
X 轴 Y 轴
ESA70-A70W
X 轴 Y 轴（下泵轴）
Ebara 130
X 轴 Y 轴（下泵轴）
M302NS
X 轴 Y 轴（下泵轴）
ESA25-D
上泵轴 X 轴 Y 轴
Ebara 130
2.4 轴毛坯件（Ebara 130 专用）
物料名称
规格型号
上泵轴毛坯
Ebara 130
下泵轴毛坯
Ebara 130
2.5 齿轮 + 活塞环（Ebara 130 专用）
物料名称
规格型号
上泵轴齿轮
Ebara 130
下泵轴齿轮
Ebara 130
上泵轴活塞环
Ebara 130
三、关键规格与技术参数
3.1 X/Y-DP 传动轴（EVM/EVS/EVX 系列）
· 材质：40Cr 合金钢
· 调质硬度：HB280-320
· 动平衡：G2.5 @ 12,000 RPM
· 端面跳动：≤0.01mm
· 接口：DP 端标准法兰（EVM/EVS/EVX 系列通用）
· 寿命：10,000-15,000h
3.2 齿轮组件（EVS100 专用）
· 齿轮-MB（BP）：用于高压级
· 齿轮-DP（MP）：用于中压级
· 材质：20CrMnTi 渗碳钢
· 渗碳层：0.8-1.2mm
· 硬度：HRC58-62
· 精度：ISO 6 级
· 转速：≤18,000 RPM
3.3 X/Y 轴总成（ESA 系列）
· 材质：40Cr + 球铁 QT600-3
· 接口：非标（ESA 系列专用）
· 轴向间隙：0.05-0.10mm
· 径向跳动：≤0.015mm
· 寿命：12,000-18,000h
3.4 轴毛坯件（Ebara 130 专用）
· 材质：42CrMo 合金钢
· 锻造比：≥4:1
· 粗加工余量：2-3mm
· 超声波探伤：100% 检测
· 用途：用户自行精加工
3.5 活塞环（Ebara 130 专用）
· 材质：球铁 QT600-3 + PTFE 涂层
· 外径：根据机型定制
· 弹性模量：150-180 GPa
· 耐温：≤200℃
· 寿命：8000-12000h
四、太星替代件优势
4.1 OEM-spec 生产
· X/Y-DP 轴：40Cr 调质 HB280-320，动平衡 G2.5 @ 12,000 RPM
· 齿轮组：20CrMnTi 渗碳淬火，ISO 6 级精度
· X/Y 轴总成：40Cr + 球铁，符合原厂接口
· 轴毛坯件：42CrMo 锻造 + 100% 超声波探伤
· 活塞环：球铁 + PTFE 涂层
4.2 6 大优势
· 9 款机型：EV-L/EVM/EVS/EVX/ESA 全系列
· 24 个核心物料编码：5 大类配件齐全
· 现货供应：12 个月保修
· 价格优势：太星价 = 原厂 50-60%
· OEM-spec 生产：对标原厂规格
· 技术支持：远程视频指导 + 现场装配支持
五、应用场景
5.1 半导体晶圆厂
· EV-L200N：6/8 寸晶圆 PECVD
· EVM20 / EVM50：硅外延、扩散
· EVS100：Etching + 高真空
· EVX-100：12 寸晶圆 + 制程
5.2 FPD 平板显示
· EV-L200N：PECVD
· EVS100：溅射镀膜
· ESA70-A70W：OLED 蒸镀
5.3 太阳能光伏
· EV-L200N：薄膜沉积
· EVS100：PECVD
· ESA25-D：小型 PECVD
5.4 真空冶金
· EVM20 / EVM50：真空熔炼
· ESA70-A70W：真空热处理
· Ebara 130：大型真空炉
· M302NS：化工真空
5.5 实验室 R&D
· ESA25-D：实验真空
· Ebara 130：高校大型实验
六、常见问题（FAQ）
Q1：EV-L200N 的 X 轴（TX110016050）和 EVX-100 的 X 轴（110016042）能互换吗？
A：不能。料号不同，长度和接口均有差异。请按实际机型订货。
Q2：EVS100 的齿轮-MB（BP）和齿轮-DP（MP）有什么区别？
A：MB（BP）是高压级齿轮，DP（MP）是中压级齿轮。两者齿数、模数、螺旋角均不同。
Q3：Ebara 130 的轴毛坯件是什么？
A：上泵轴毛坯 + 下泵轴毛坯。材质 42CrMo，用户需自行精加工。
Q4：活塞环材质是什么？
A：球铁 QT600-3 + PTFE 涂层。耐温 ≤200℃，寿命 8000-12000h。
Q5：M302NS 与 ESA25-D 的 X/Y 轴总成能互换吗？
A：不能。两款机型的接口不同，X/Y 轴总成不可互换。
Q6：ESA70-A70W 适合什么应用？
A：ESA 系列是高负载机型，适合工业 + 真空冶金 + 大型 PECVD。
Q7：EVM20 和 EVM50 的 X/Y-DP 轴能通用吗？
A：长度不同，不能通用。料号分别独立。
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